宁宗娥
- 作品数:3 被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 相关领域:电子电信电气工程更多>>
- UHVCVD外延设备的热场设计
- 2013年
- 介绍了超高真空化学气相沉积(UHVCVD)锗硅外延设备的加热室设计方法,完善了相关的炉体设计,相关温度指标达到设计标准。
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- 关键词:超高真空化学气相沉积锗硅
- 全自动太阳能电池测试分选设备的研制
- 2011年
- 太阳能电池测试分选设备是晶体硅太阳能电池生产专用设备,可用于太阳能电池转换效率以及电性能参数测量。所有的测量结果可以自动分类,自动保存。该设备在测试系统设计、分选结构设计、步进电机精密驱动、高速数据交换和电气控制等技术方面达到较高水平。该设备具有全自动化,操作简便,测试精确,运行稳定,碎片率低、生产效率高等特点,性能完全可以和国外同类设备相媲美。
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- 关键词:太阳能电池电性能
- UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计
- 2013年
- 介绍了UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计,通过合理选取预备室和反应室的真空泵组,满足了设备的超高真空要求,自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外延生产效率。
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- 关键词:超高真空