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文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇超高真空
  • 1篇电池
  • 1篇电性能
  • 1篇锗硅
  • 1篇真空
  • 1篇太阳能
  • 1篇太阳能电池
  • 1篇全自动
  • 1篇系统设计
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇超高真空化学...
  • 1篇SIGE

机构

  • 3篇中国电子科技...

作者

  • 3篇宁宗娥
  • 3篇魏唯
  • 1篇贾京英
  • 1篇唐超凡
  • 1篇何华云
  • 1篇王娟
  • 1篇颜秀文
  • 1篇王学仕
  • 1篇王慧勇
  • 1篇李佳

传媒

  • 3篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2013
  • 1篇2011
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
UHVCVD外延设备的热场设计
2013年
介绍了超高真空化学气相沉积(UHVCVD)锗硅外延设备的加热室设计方法,完善了相关的炉体设计,相关温度指标达到设计标准。
李佳魏唯何华云宁宗娥
关键词:超高真空化学气相沉积锗硅
全自动太阳能电池测试分选设备的研制
2011年
太阳能电池测试分选设备是晶体硅太阳能电池生产专用设备,可用于太阳能电池转换效率以及电性能参数测量。所有的测量结果可以自动分类,自动保存。该设备在测试系统设计、分选结构设计、步进电机精密驱动、高速数据交换和电气控制等技术方面达到较高水平。该设备具有全自动化,操作简便,测试精确,运行稳定,碎片率低、生产效率高等特点,性能完全可以和国外同类设备相媲美。
唐超凡魏唯宁宗娥王学仕王娟贾京英颜秀文
关键词:太阳能电池电性能
UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计
2013年
介绍了UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计,通过合理选取预备室和反应室的真空泵组,满足了设备的超高真空要求,自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外延生产效率。
王慧勇魏唯宁宗娥
关键词:超高真空
共1页<1>
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