吕海峰
- 作品数：4 被引量：11H指数：2
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
- 浮动式微剪应力传感器及其在气动测量中的应用
- 2014年
- 壁面剪应力的测量是试验空气动力学领域中的一项重要测试任务。精确的测量剪应力能够判断边界层内的流体运动状态，为主动流动控制、摩擦阻力的计算提供依据。采用MEMS工艺制作的微剪应力传感器具有尺寸小、频响高、功耗低等特点，为壁面剪应力的测量提供了一种新的方法。
- 吕海峰苑伟政
- 关键词：应力传感器气动测量主动流动控制空气动力学
- 用于壁面切应力测量的微传感器设计被引量：9
- 2010年
- 壁面切应力的测量是流体动力学领域中一项非常重要的测试任务,采用MEMS技术设计、加工的微型切应力传感器能够为壁面切应力的测量提供新的手段。微传感器设计过程中推导其浮动单元线性位移与弹性梁宽度的关系,通过限位装置提高了微传感器的抗过载能力。有限元仿真结果与试验模态分析的最大偏差为8.2%,表明仿真过程中对结构进行的简化以及单元的选取是合理的。加工过程中,采用等离子刻蚀工艺形成传感器的结构,湿法刻蚀工艺完成浮动单元的释放,所加工传感器的整体尺寸为3.4 mm×2.5 mm×0.6 mm。开发了一种封装结构实现传感器与壁面的平齐安装。风洞试验结果说明在0～30 m/s风速范围内传感器的灵敏度为51.2 mV/Pa,该传感器可以用于壁面切应力的测量。
- 吕海峰姜澄宇邓进军马炳和苑伟政
- 关键词：微传感器仿真风洞试验
- 一种全柔性气泡致动器及其制作工艺
- 2009年
- 气泡致动器的弹性薄膜厚度不均、高压气体泄露、刚性基底以及缺乏控制依据是制约其实际应用的关键问题。为了解决上述问题,采取了如下措施:对现有成膜工艺进行了改进,提高了弹性薄膜厚度的一致性;开发了一种新的气泡致动器的制作工艺,避免了原制作工艺中的粘接环节,保证了气泡致动器的气密性;使用柔性材料作为基底,器件可弯曲变形,便于安装在翼型表面;采用Mooney-Rivlin超弹性材料模型对气泡致动器弹性薄膜的变形进行分析,确定了不同厚度的薄膜变形高度与压力的理论关系,同时指出,在相同条件下宽度是影响气泡薄膜变形的主要因素,为气泡致动器的控制提供了参考。实验证明:所开发的气泡致动器可以有效地进行延迟分离,降低压差阻力,实现了主动流动控制。
- 吕海峰苑伟政马炳和邓进军徐延光
- 关键词：主动流动控制
- 面向动态压力测量的微型压力传感器敏感结构被引量：2
- 2009年
- 围绕微型压力传感器的动态性能对压力敏感结构设计进行了研究。结合有限元分析,掌握了压阻式微型压力传感器的膜片形状、膜厚、膜片平面尺寸对于固有频率、灵敏度的影响规律,明确了固有频率、灵敏度与敏感结构形状尺寸间的关系。结合研发实例,利用时域暂态有限元分析,研究了不同厚度的正方形敏感膜片对于正弦、阶跃压力载荷的动态响应情况。研究表明,较小的敏感膜片平面尺寸、较大的膜片厚度有利于获得高的固有频率,从而得到较宽的工作频带、较快的响应速度。
- 任卫马炳和吕海峰
- 关键词：动态压力测量有限元微型压力传感器动态性能
