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刘侠
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刘斐
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尚利娜
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任炳忠
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刘侠
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尚利娜
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刘斐
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1篇
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仿直翅目鸣虫翅膜超微结构的声学传感器设计方法
本发明属传感器设计,特别涉及声学传感器的设计方法。为了克服现有声学传感器复杂、不利于传感器小型化的的不足,提出一种仿直翅目鸣虫翅膜的声学传感器设计方案,该方案通过对声学传感器敏感元件表面细微结构的设计确定Q值,使传感器的...
任炳忠
王寅亮
刘侠
尚利娜
刘斐
王双维
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仿直翅目鸣虫翅膜超微结构的声学传感器设计方法
本发明属传感器设计,特别涉及声学传感器的设计方法。为了克服现有声学传感器复杂、不利于传感器小型化的不足,提出一种仿直翅目鸣虫翅膜的声学传感器设计方案,该方案通过对声学传感器敏感元件表面细微结构的设计确定Q值,使传感器的部...
任炳忠
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