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黄建军

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中山大学物理科学与工程技术学院光电材料与技术国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电子能
  • 1篇电子能谱
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石薄膜
  • 1篇光电子能谱
  • 1篇氨基

机构

  • 1篇中山大学

作者

  • 1篇龚力
  • 1篇谢方艳
  • 1篇何振辉
  • 1篇陈建
  • 1篇黄建军
  • 1篇陈弟虎

传媒

  • 1篇分析测试学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
类金刚石薄膜表面的氨基修饰被引量：2
2009年
采用射频磁控溅射法在双面抛光Si(100)基片上制备了类金刚石薄膜,通过磁过滤等离子体化学气相沉积法,以N2、H2混合气体为反应溅射气体,对类金刚石薄膜样品表面进行氨基改性。傅立叶变换红外透射光谱(FT-IR)的结果表明,改性后的类金刚石薄膜上有C—NH2键存在;光电子能谱(XPS)的结果表明,改性后的薄膜表面含氮量约为8.92%,N1s的结合能出现在氨基对应的结合能范围内,表明类金刚石薄膜经过适当改性后可以在薄膜表面产生氨基。
黄建军龚力谢方艳陈建陈弟虎何振辉
关键词：类金刚石薄膜氨基光电子能谱
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