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闵光伟
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
东南大学生物科学与医学工程学院吴健维实验室
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陆祖宏
东南大学生物科学与医学工程学院...
顾宁
东南大学生物科学与医学工程学院...
韦钰
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1994
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STM纳米加工技术进展
被引量:3
1994年
STM(扫描隧道显微镜)作为一种新型的纳米加工工具,在微电子制造,量子、分子器件的制作以及在原子分子尺度内的操作与构建等方面有极大的应用潜力。本文对STM纳米加工方法进行了初步分类,简略介绍了其一般工作原理及发展状况,讨论了其未来的应用前景。
顾宁
闵光伟
鲁武
陆祖宏
韦钰
关键词:
STM
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