金文贤
- 作品数：6 被引量：7H指数：2
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- 相关领域：电子电信更多>>
- 硅腐蚀停止技术制备超薄硅膜中的分形现象被引量：3
- 2005年
- 利用浓硼扩散腐蚀停止技术制备自由悬空硅薄膜时 ,在薄膜的表面观察到了呈分形生长的反应生成络合物聚集结构 .研究表明 ,薄膜表面的生成物的分形属于典型的有限扩散集团凝聚模型 ,其分形维数值约为 1 6 6 7.实验还发现 。
- 杨道虹徐晨董典红张剑铭阳启明金文贤沈光地
- 关键词：分形扫描电镜分形维数
- 气动式室温红外探测器的微电容快速测试系统的设计与实现
- 红外探测器是一种红外辐射的转换器，是红外成像的关键部件，在军事、医疗、工业、冶金、化工等领域都有广泛的应用。新型电容式高速室温红外探测器是根据沈光地教授提出的全新红外探测机理研制的器件，具有响应速度快、灵敏度高、波长选择...
- 金文贤
- 关键词：红外探测器电路系统
- 文献传递
- 气动式室温红外探测器的微电容快速测试系统
- 设计出用于气动式室温红外探测器的微电容测试系统,能够快速灵敏地将探测器输出的电容信号通过C-F、F-V变换电路转换为电压信号,并传到PC机进行信号处理.给出了电路的硬件实现方法,其采样频率为10kHz,电容信号的分辨率为...
- 金文贤徐萍萍徐晨沈光地
- 关键词：红外探测器电路系统
- 文献传递
- 一种新型键合工艺的理论和实验研究被引量：2
- 2004年
- 为了实现在较低超净环境下的硅／硅直接键合,提出了在乙醇的环境中进行硅／硅键合的方法,并建立了合理的物理模型,在常温、常压和低于10万级超净环境下,用普通的国产硅片进行了无水乙醇环境下的硅／硅直接键合实验.键合后进行了拉力强度测试和SEM观测,发现界面没有孔洞,说明键合质量达到了要求.拉力测试结果表明,其键合强度达到了10MPa,初步验证了该方法的可行性.
- 杨道红徐晨董典红李兰吴畯苗张剑铭阳启明金文贤邹德恕沈光地
- 关键词：微电子机械系统乙醇
- 激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用被引量：2
- 2004年
- 运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果。该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于键合过程中电场给超薄敏感可动微结构带来的畸变甚至失效,为新型室温红外探测器的研制奠定了良好的工艺基础。
- 杨道虹徐晨董典红金文贤阳启明张剑铭沈光地
- 关键词：MEMSND:YAG激光键合
- 新型室温红外探测器的微电容快速测试系统
- 2005年
- 新型室温红外探测器对8～14μm红外辐射具有快速灵敏的响应,设计出用于该探测器的微电容测试系统,能够快速灵敏地将探测器输出的电容信号通过C-f、f-V变换电路转换为电压信号,然后由A/D转换电路变为数字信号后传到PC机进行信号处理。给出了硬件电路的实现方法,其采样频率为10kHz,电容信号的分辨率为10fF.这种测试方法也适用于其他微小电容式传感器的快速检测。
- 金文贤徐萍萍徐晨沈光地
- 关键词：红外探测器电路系统
