邬纪泽
- 作品数：9 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国科学院广州中国科学院工业技术研究院更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 高精度激光定位工件台系统研制成功
- 1982年
- 中国科学院光电技术所于1978年承担了两项为发展我国大规模集成电路（LSI）用的关键工艺设备的研制任务。经过三、四年的努力，已先后胜利完成研制工作。继1981年7月在北京通过了性能优良的、具有七十年代中期国际水平的JK-1型半自动接近式光刻机的院级技术鉴定之后，最近科学院成都分院受科学院技术科学部的委托在成都召开了高精度激光定位工件台系统院级鉴定会，通过了技术鉴定。
- 邬纪泽
- 关键词：工件台大规模集成电路光电技术
- 精密工件台的实验模态分析被引量：1
- 1991年
- 本文结合掩模缺陷自动检测系统的精密扫描工件台的特点,采用CAD技术对其动态特性进行实验模态分析,给出该系统的实验结果和识别的模态参数。
- 邬纪泽苗资生
- 关键词：集成电路工作台模态分析
- 一种工业检测装置
- 本实用新型提供一种工业检测装置，包括支架台(1)、支撑件(2)、支撑件(2)上部的光学物镜(6)、支架台(1)和载物台(30)之间的横摇机构和纵摇机构，横摇机构包括横摇支架(12)、横摇轴(13)及用于驱动横摇轴的横摇电...
- 邬纪泽李伟邓钊沈大刚蒲常华肖浩何宇
- 文献传递
- 表面缺陷检测方法和装置
- 本发明涉及检测领域，公开了一种表面缺陷检测方法、装置，方法包括：获取表面的原始图像；对原始图像的各像素点，分别计算每像素点在多个方向的梯度值，取其中最大值作为像素点的新的灰度值，得到梯度图像；对梯度图像，如果灰度值像素点...
- 邬纪泽李伟沈大刚
- 文献传递
- 表面缺陷检测方法、装置
- 本发明涉及检测领域，公开了一种表面缺陷检测方法、装置，方法包括：获取表面的原始图像；对原始图像的各像素点，分别计算每像素点在多个方向的梯度值，取其中最大值作为像素点的新的灰度值，得到梯度图像；对梯度图像，如果灰度值像素点...
- 邬纪泽李伟沈大刚
- 文献传递
- 表面缺陷检测装置
- 本发明涉及检测领域，公开了一种表面缺陷检测装置，包含图像输入部以及检测部的表面检测装置包括有横摇机构和纵摇机构，使得载物台可以朝四个方向转动，一次装载工序能够检测被检测物的多个面，使用方便；此外，在横摇电机、纵摇电机及控...
- 邬纪泽李伟邓钊沈大刚蒲常华肖浩何宇
- 文献传递
- 表面缺陷检测装置
- 本发明涉及检测领域，公开了一种表面缺陷检测装置，包含图像输入部以及检测部的表面检测装置包括有横摇机构和纵摇机构，使得载物台可以朝四个方向转动，一次装载工序能够检测被检测物的多个面，使用方便；此外，在横摇电机、纵摇电机及控...
- 邬纪泽李伟邓钊沈大刚蒲常华肖浩何宇
- 文献传递
- CVD金刚石(膜)制备技术及应用进展被引量：8
- 2009年
- 化学气相沉积(CVD)方法是金刚石(膜)制备的主流技术,经过多年的发展,已从最初的微米金刚石膜发展到纳米金刚石膜,至目前高质量的单晶金刚石,应用领域不断扩展。除了工业和民用领域外,纳米金刚石膜在MEMS/NEMS、生物医学的应用进展引起业界关注,其中大尺寸单晶金刚石的制备是推动这些应用的关键。本文分析了MPCVD金刚石成膜特点,讨论了现阶段CVD金刚石膜商业化推广应用的制约因素,展望了今后金刚石膜的发展前景。
- 马国欣向鹏邱胜宝邬纪泽
- 关键词：CVD金刚石
- 表面等离子体共振技术在生化检测中的研究进展被引量：4
- 2010年
- 利用表面等离子共振(SPR)技术进行生物化学分析和检测,具有前处理简单、无需标记、灵敏度高以及实时、连续监测动态反应过程等特点。本文介绍了表面等离子共振传感器的基本类型和结构,论述了SPR在水质、农药残留以及有毒气体等物质检测上的研究进展,并对SPR传感器的未来发展趋势进行展望。
- 马国欣邱胜宝向鹏邬纪泽
- 关键词：表面等离子共振生化检测分辨率灵敏度
