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邢汝博
作品数:
43
被引量:40
H指数:4
供职机构:
中国科学院长春应用化学研究所
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发文基金:
中国科学院知识创新工程重要方向项目
中国科学院“百人计划”
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理学
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合作作者
韩艳春
中国科学院长春应用化学研究所
王哲
中国科学院长春应用化学研究所
于新红
中国科学院长春应用化学研究所
丁艳
中国科学院长春应用化学研究所
刘剑刚
中国科学院长春应用化学研究所
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3篇
2003
2篇
2002
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可传递打印的聚合物材料图形结构的制备方法
本发明属于可传递打印的聚合物图案的制备方法。首先在平整的弹性软模板表面旋涂聚合物薄膜,然后将表面带有图案的环氧树脂模板对聚合物薄膜进行热剥离,与环氧树脂模板接触的聚合物薄膜被选择性剥离,从而在弹性软模板表面得到分离的聚合...
韩艳春
于新红
邢汝博
文献传递
软刻蚀及其应用
被引量:6
2002年
软刻蚀是一类基于自组装和复制模塑等原理的非光刻微米和纳米加工方法。它为形成和制作微米、纳米图案提供了简便、有效、价廉的途径。在软刻蚀中 ,用一个表面带图案的弹性模板来实现图案的转移 ,其加工的分辨率可达 3 0nm~ 1 0 0 μm。软刻蚀是微接触印刷、复制模塑、转移微模塑、毛细微模塑、溶剂辅助微模塑等的总称。本文将简介软刻蚀的原理、方法以及它们在微米和纳米加工、微电子学、材料科学、光学、微电子机械系统、表面化学等方面的应用。
王喆
邢汝博
韩艳春
李滨耀
关键词:
半导体
光刻
图案化
弹性模板
微电子技术
印章
一种溶液沉积制备聚3-己基噻吩取向有序薄膜的方法
一种溶液沉积制备聚3-己基噻吩取向有序薄膜的方法,属于制备共轭聚合物取向有序薄膜领域。解决现有的制备聚噻吩取向有序薄膜的方法要对基底进行前处理的问题。该方法将第一溶剂和第二溶剂混合,形成混合溶剂,所述的第一溶剂为甲苯,第...
韩艳春
高翔
邢汝博
刘剑刚
文献传递
冰模板制作微透镜阵列的加工方法
本发明涉及一种冰模板制作微透镜阵列的加工方法。用水在带有正方形凹槽图案的弹性软模板表面的去润湿行为,将水滴限制在弹性软模板表面的凹槽内,用水与冰之间的可逆转变实现弹性软模板表面的水到基底的转移以及水滴的球面形貌在聚合物薄...
韩艳春
于新红
王哲
邢汝博
文献传递
可传递打印的聚合物材料图形结构的制备方法
本发明属于可传递打印的聚合物图案的制备方法。首先在平整的弹性软模板表面旋涂聚合物薄膜,然后将表面带有图案的环氧树脂模板对聚合物薄膜进行热剥离,与环氧树脂模板接触的聚合物薄膜被选择性剥离,从而在弹性软模板表面得到分离的聚合...
韩艳春
于新红
邢汝博
文献传递
一种有机发光显示器件阴极隔离柱的加工方法
本发明提供一种有机发光显示器件阴极隔离柱的加工方法,采用微转移图案化的方法在正性光刻胶薄膜上形成聚合物薄膜图案,然后以该聚合物薄膜选择性吸附催化剂后进行化学镀金属以形成金属薄膜。最后以金属薄膜作为掩模对下层正性光刻胶薄膜...
韩艳春
邢汝博
丁艳
文献传递
互补结构微图案化制作倒梯形结构的方法
本发明属于互补结构微图案化加工方法。首先利用毛细微模塑在基底表面制作具有正梯形横截面的微结构。以该结构作为支撑,在其表面涂敷另外一层薄膜。然后选用能溶解毛细微模塑制作的微结构,但是不溶解其表面薄膜的溶剂将微结构溶解,并带...
韩艳春
邢汝博
于新红
文献传递
一种溶液沉积制备聚3-己基噻吩取向有序薄膜的方法
一种溶液沉积制备聚3-己基噻吩取向有序薄膜的方法,属于制备共轭聚合物取向有序薄膜领域。解决现有的制备聚噻吩取向有序薄膜的方法要对基底进行前处理的问题。该方法将第一溶剂和第二溶剂混合,形成混合溶剂,所述的第一溶剂为甲苯,第...
韩艳春
高翔
邢汝博
刘剑刚
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一种热模塑高分子薄膜微图案化的制作方法
一种热模塑高分子薄膜微图案化的制作方法,其主要步骤为:1)采用硅橡胶的预聚体与其交联剂在原始的热模塑微图案化用硬模板表面浇注,得到与原始硬模板表面图形相反的软印章。2)将环氧树脂预聚物与其交联剂的混合溶液移到硅橡胶软印章...
邢汝博
王哲
韩艳春
文献传递
热剥离薄膜图案化加工方法
本发明属于热剥离图案化加工方法。采用转移微模塑的方法预固化形成环氧树脂模板;将需要图案化的介质在平面基底上成膜;将预固化的环氧树脂模板由上向下压在需要图案化的薄膜表面,并保持0.1~0.5MPa的压力,然后在80~120...
韩艳春
王哲
邢汝博
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