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穆海华
作品数:
119
被引量:175
H指数:9
供职机构:
清华大学
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合作作者
朱煜
清华大学机械工程学院机械工程系
杨开明
清华大学
张鸣
清华大学
尹文生
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
胡金春
清华大学
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2003
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一种外差光栅干涉仪位移测量系统
一种外差光栅干涉仪位移测量系统,包括读数头、测量光栅、电子信号处理部件,该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。读数头包括双频激发生器、干涉仪、信号转换单元,双频激光发生器出射双频激光经偏振分光...
张鸣
朱煜
王磊杰
胡金春
陈龙敏
杨开明
徐登峰
尹文生
穆海华
文献传递
基于规则的复杂装备控制逻辑调度模式研究
制造装备日益增大的规模与高度自动化的需求,使得正确、高效地处理复杂逻辑成为装备控制软件开发的核心问题.逻辑复杂度来源于装备固有的繁复行为以及软件执行逻辑.以规范统一的形式描述装备行为,并实现装备行为逻辑与软件执行逻辑的分...
王海升
穆海华
尹文生
关键词:
复杂装备
控制软件
带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩膜台系统
带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩膜台系统,粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件,粗动台台体设置在精动台的外部,将精动台包围在中间,实现粗动台的六自由度运动;该掩膜台系统还含有PSD传感器测量系统...
朱煜
张鸣
刘召
杨开明
徐登峰
成荣
刘昊
张利
田丽
叶伟楠
张金
尹文生
穆海华
胡金春
洛仑兹电机运动控制耦合机理分析及动力学建模
被引量:17
2009年
长行程永磁直线电机粗动与短行程洛仑兹电机微动构成的复合运动可满足工作台的纳米级定位精度和跟踪精度要求,其中微动台是工作台纳米精度实现的核心,运动控制存在内部干扰耦合。该文分析洛仑兹电机运动控制的内部耦合因素及机理,建立耦合机理模型;针对位置相关性耦合与力相关性耦合,分别推导对应的耦合动力学模型,并采用简化原则进行简化;结合耦合机理模型与动力学模型,提出洛仑兹电机运动控制的总动力学模型。实验结果证明了简化模型的可行性和有效性。
穆海华
周云飞
周艳红
关键词:
动力学模型
一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置
一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置,该双台包括一个基台及安装在基台上的两个工件台、四个激光尺、四个驱动器和两个切换开关。在双工件台位置交换过程中,初始阶段由一侧的激光尺和驱动器测量并控制工件台的运动;当两工件台运动...
杨开明
朱煜
张鸣
成荣
李鑫
穆海华
余东东
胡金春
尹文生
季国锋
蒋毅
一种三自由度定位装置
一种三自由度定位装置,涉及一种超精密三自由度运动定位设备。该定位装置包括一个或两个沿X方向微动的音圈电机、两个沿Y方向移动的直线电机和一个受Z方向气浮支撑的定位单元。每个音圈电机的动子与相邻侧直线电机的动子或直接与定位单...
张鸣
朱煜
汪劲松
李鑫
宋玉晶
刘羽
杨开明
尹文生
胡金春
徐登峰
穆海华
文献传递
一种基于电机磁场模型的动子位移测量方法
一种基于电机磁场模型的动子位移测量方法,该方法是在动子上沿动子运动方向布置两个磁感应强度传感器,两个传感器相距磁场极距的四分之一<Image file="DDA0000139963170000011.GIF" he="3...
胡金春
朱煜
穆海华
孙玉婷
张鸣
杨开明
刘召
尹文生
文献传递
一种掩膜台系统
一种掩膜台系统,主要用于光刻机系统中。该系统包括磁悬浮装置,振动装置、驱动装置和掩膜台。所述磁悬浮装置由固定在掩膜台上的永磁体和被永磁体吸引的固定在光刻机机架上的铁磁性部件组成,在驱动装置的配合下使掩膜台在工作中保持悬浮...
张鸣
朱煜
汪劲松
闵伟
尹文生
胡金春
徐登峰
杨开明
穆海华
段广洪
一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置
一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置,属于超精密加工和检测设备技术领域。本发明定位装置包含两个相同定位组件,每个定位组件由一个可伸缩单元、一个推杆、一个定位凹槽和一个位置传感器组成,位置传感器用于工件台的位置检测,...
朱煜
杨开明
余东东
李鑫
汪劲松
徐登峰
张鸣
胡金春
穆海华
尹文生
崔乐卿
一种具有永磁重力补偿结构的微动台
一种具有永磁重力补偿结构的微动台,包括微动台定子、微动台动子及永磁重力补偿结构。该永磁重力补偿结构包括固定部分和支撑部分,固定部分由至少四个永磁单元和永磁体骨架组成,四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架上,每个...
张鸣
朱煜
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李玉洁
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