秦宁
- 作品数：14 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- SU-8微针执行器的研究
- 设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器.执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等.通过外部磁场可以实现双向线性驱动.本文主要介绍了利用SU-8光刻胶材料,采用多级曝光实现3D结构的...
- 秦宁赵湛陈绍凤夏善红
- 关键词：微机电系统电磁驱动光刻胶
- 文献传递
- 电磁驱动双向执行微量取样器的制备方法
- 一种电磁驱动双向执行微量取样器的制备方法，由在硅基片上利用SU-8光刻胶制作的微针，微通道和反应室组成；反应室底部为硅基底，沉积有氮化硅绝缘层，在其上制作用以检测生物样品的金电极；反应室的上部由金膜组成，在其上电铸有Co...
- 赵湛陈绍凤张博军秦宁
- 文献传递
- 一种气囊控制的微量药物输送执行器
- 本发明涉及医疗器械领域，是一种新型硅尖微针阵列微执行器的结构和制作方法。一种气囊控制的微量药物输送执行器，由在硅基片一面上利用微电子机械加工工艺刻蚀出硅针阵列和微通道阵列，在硅片的另一面制作反应室，利用PDMS作样品或药...
- 陈绍凤赵湛秦宁
- 文献传递
- 电磁驱动双向执行微量取样器
- 一种电磁驱动双向执行微量取样器，由在硅基片上利用SU－8光刻胶制作的微针，微通道和反应室组成；反应室底部为硅基底，沉积有氮化硅绝缘层，在其上制作用以检测生物样品的金电极；反应室的上部由金膜组成，在其上电铸有CoNiMnP...
- 赵湛陈绍凤张博军秦宁
- 文献传递
- 基于SU-8胶的微针执行器的研制
- 利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器。执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU-8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术...
- 秦宁赵湛张博军陈绍凤夏善红
- 关键词：SU-8胶MEMS
- 文献传递
- SU-8微针执行器的研究
- 生化微系统是MEMS的重要方向之一,而生化样品的微量取样和取计量是生化分析过程的重要环节,微针执行器的研究因此受到关注.该文总结了国内外关于微针执行器的研究,提出了一种新的设计方案.作者设计了一种用于生化样品的微量计量和...
- 秦宁
- 关键词：微针SU-8胶MEMS
- 文献传递
- 气囊驱动硅微针尖阵列微量药物输送执行器的研究
- 论述了一种用于生化微系统中药物释放的系统,即气囊驱动微量药物输送执行嚣,通过此驱动系统可以达到局部输送药物的目的。利用微针阵列实行局部定时地释放药物、控制药量,微针阵列的研制是微驱动器的关键。执行器的微针部分采用硅-氮化...
- 陈绍凤赵湛秦宁陈贤祥
- 关键词：信息采集
- 文献传递
- 基于SU-8胶的微针执行器的研制被引量：1
- 2004年
- 利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器。执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU - 8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件。针尖的尺寸为5 0 0 μm×6 0 μm×6 0 μm,针孔截面为2 0 μm×2 0 μm。
- 秦宁赵湛张博军陈绍凤夏善红
- 关键词：MEMS
- 聚合材料气压传感器芯片
- 本发明涉及传感技术领域，特别是一种采用聚合材料制作的气压传感器芯片的结构和制作方法。本发明的气压传感器芯片，在制造过程中以聚合材料作为压力敏感薄膜。在玻璃片或硅片等基片上制作一个平板电极及其引线。用SU-8胶、聚酰亚胺等...
- 赵湛武宇秦宁
- 文献传递
- 气囊驱动硅微针尖阵列微量药物输送执行器的研究
- 2005年
- 论述了一种用于生化微系统中药物释放的系统,即气囊驱动微量药物输送执行器,通过此驱动系统可以达到局部输送药物的目的.利用微针阵列实行局部定时地释放药物、控制药量,微针阵列的研制是微驱动器的关键.执行器的微针部分采用硅-氮化硅-硼硅玻璃-金属(钛、镍、金)材料,利用MEMS技术研制,驱动部分利用硅-PDMS材料作气囊,主要介绍了微针的结构和气囊制作的工艺技术.气囊驱动的微执行器为生化微系统研究提供了一个技术方案,为实现局部定时释放药物、控制药量提供了可行的手段和方法.
- 陈绍凤赵湛秦宁陈贤祥
- 关键词：信息采集
