王丛舜
- 作品数：8 被引量：24H指数：2
- 供职机构：北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- U形阵列式微机械悬臂梁的研究被引量：8
- 2004年
- 为提高悬臂梁的分辨率 ,实现悬臂梁的多功能性 ,设计了一种U形阵列式压阻悬臂梁 .从理论上对悬臂梁的应力、噪声和灵敏度进行分析 ,优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸 .选用多晶硅为力敏材料 ,基于硅微机械加工技术 ,制备U形阵列式悬臂梁 .测量悬臂梁的噪声及灵敏度 ,得到多晶硅力敏材料的Hooge因子和应变灵敏度系数 ,分别为 3× 10 - 3和 2 7.在 6V偏压和 10 0 0Hz测量带宽条件下 ,计算悬臂梁的最小可探测位移为 0 5nm .同时对多晶硅力敏电阻噪声的产生机理进行了探讨 .
- 于晓梅张大成王丛舜李婷阮勇
- 关键词：悬臂梁分辨率灵敏度噪声力敏电阻
- 继电器及其制备方法
- 本发明提供了一种体硅MEMS继电器及其制备方法，属于微电子机械系统(MEMS)加工工艺技术领域。该继电器包括：一采用正向吸合驱动方式的由上、下两个部分组成的继电器本体，上部结构包括带有锚点和梁结构的单晶硅结构板，在单晶硅...
- 阮勇张大成郝一龙王阳元王丛舜李婷罗葵田大宇王玮王颖王兆江
- 文献传递
- 微机电系统中残余应力的检测和应用研究
- 微机电系统中残余应力会导致结构弯曲、下塌或断裂,这些会影响和限制结构的尺寸,降低结构的使用寿命,甚至导致器件的失效.因此,残余应力的检测对于微加工工艺的发展和监控具有非常重要的意义.文章总结了几种常用的残余应力检测技术,...
- 王丛舜昌盛方竞张大成
- 关键词：微机电系统残余应力谐振频率阈值电压微加工工艺
- 文献传递
- 继电器及其制备方法
- 本发明提供了一种体硅MEMS继电器及其制备方法，属于微电子机械系统(MEMS)加工工艺技术领域。该继电器包括：一采用正向吸合驱动方式的由上、下两个部分组成的继电器本体，上部结构包括带有锚点和梁结构的单晶硅结构板，在单晶硅...
- 阮勇张大成郝一龙王阳元王丛舜李婷罗葵田大宇王玮王颖王兆江
- 文献传递
- 新型硅基MEMS转镜的研究
- 该文在充分地分析国内外MEMS微镜研究成果的基础上,结合卫星激光通信中的瞄准控制需求和北大的MEMS制造条件和加工技术,设计、制造并测试了新型硅基MEMS扭转微镜.论文的第一章综述了国内外MEMS微镜的研究成果,阐明选题...
- 王丛舜
- 关键词：微电子机械系统边缘电场残余应力阈值电压
- 一种新型静电驱动的单轴扭转微镜被引量：1
- 2003年
- 基于MEMS技术的微镜在投影显示、光学扫描和光通信等领域中都具有重要的应用价值。本文提出了一种新型的静电驱动的单轴扭转微镜 ,这种MEMS微镜采用标准体硅工艺和绝缘连接工艺制成。由于驱动力作用线和扭转中心之间存在一定的距离 ,使得微镜在梳齿驱动器的横向静电力驱动下 ,发生一定角度的扭转。测试中发现了微镜初步设计中的薄弱环节 。
- 王丛舜熊春阳杨振川张大成方竞
- 关键词：静电驱动体硅工艺MEMS技术
- 微电子机械系统中典型构件的力电耦合分析及其应用研究被引量：15
- 2001年
- 力电耦合是大多数微电子机械系统 (尤其是以静电驱动的微机械 )的重要特征。文中采用有限元 (FEM )结合边界元 (BEM)的方法来混合求解MEMS中的力电耦合问题 ,利用自行研制的程序给出了几种典型构件 (平行板、悬臂梁和固支梁 )的分析结果 ,并同其他商业软件 (ANSYS和Intellisuite)的计算结果进行比较。同时 。
- 王丛舜张为斌方竞崔云俊沈健昌盛
- 关键词：微电子机械系统力电耦合残余应力阈值电压
- 一种新型静电驱动的单轴扭转微镜
- 基于MEMS技术的微镜在投影显示、光学扫描和光通信等领域中都具有重要的应用价值.本文提出了一种新型的静电驱动的单轴扭转微镜,这种MEMS微镜采用标准体硅工艺和绝缘连接工艺制成.由于驱动力作用线和扭转中心之间存在一定的距离...
- 王丛舜熊春阳杨振川张大成方竞
- 关键词：体硅工艺静电驱动微机电系统
- 文献传递
