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汪海

作品数：24 被引量：9H指数：1
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项教育部长江学者奖励计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 6篇电子电信
  • 5篇机械工程
  • 4篇理学
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 14篇投影物镜
  • 14篇物镜
  • 14篇光刻
  • 14篇光刻机
  • 14篇波像差
  • 10篇在线检测
  • 9篇光栅
  • 8篇在线检测装置
  • 8篇位相
  • 6篇掩模
  • 6篇衍射
  • 6篇球面波
  • 6篇光波
  • 6篇光电
  • 5篇光学
  • 4篇掩模板
  • 4篇自校准
  • 4篇像差
  • 4篇校准
  • 2篇多项式

机构

  • 24篇北京理工大学

作者

  • 24篇汪海
  • 24篇李艳秋
  • 24篇刘克
  • 4篇刘丽辉
  • 2篇王建峰
  • 1篇陈晨
  • 1篇王丹

传媒

  • 1篇光学技术
  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2015
  • 6篇2013
  • 5篇2012
  • 7篇2011
  • 4篇2010
  • 1篇2009
共 24 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
具有标定精度功能的光刻机投影物镜波像差在线检测装置
本发明涉及一种具有测量精度标定功能的光刻机投影物镜波像差在线检测装置，属于光学检测领域。本发明利用PSPDI的系统误差随光栅分束方向旋转的特性，在PSPDI中多引入一个光栅和两个圆孔，将两个光栅和三个圆孔一同作为测量精度...
刘克李艳秋汪海刘丽辉
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基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测装置
本发明提供一种基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测装置，包括一维位相光栅、调节单元、光电探测单元、存储单元以及信号处理单元；其中，一维位相光栅和光电探测单元依次设于扩束准直系统出射光束的光路上，且一维位相光栅位于扩...
李艳秋汪海刘克
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用扩展光源的光刻机投影物镜波像差现场测量装置及方法
本发明提供一种用扩展光源的光刻机投影物镜波像差现场测量装置及方法，能够实现对投影物镜波像差高精度的检测。具体过程为：在投影物镜波像差检测时，利用位于投影物镜上方的第一扩展光源板上的圆形针孔阵列产生理想的球面波，消除了照明...
刘克李艳秋汪海王建峰
用扩展光源的光刻机投影物镜波像差现场测量装置及方法
本发明提供一种用扩展光源的光刻机投影物镜波像差现场测量装置既方法，能够实现对投影物镜波像差高精度的检测。具体过程为：在投影物镜波像差检测时，利用位于投影物镜上方的第一扩展光源板上的圆形针孔阵列产生理想的球面波，消除了照明...
刘克李艳秋汪海王建峰
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用于扩束准直系统波面像差检测的装置及方法
本发明提供一种用于扩束准直系统波面像差检测装置及方法，该装置包括剪切单元、调节单元、成像单元，光电探测单元、存储单元以及信号处理单元；其中，剪切单元、成像单元与光电探测单元依次设置于扩束准直系统出射光束的光路上，剪切单元...
刘克汪海李艳秋
光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法
本发明提出一种光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法，所述在线检测装置包括物方掩模板和像方掩模板；物方掩模板位于光刻机的物方工件台上，且设有二维周期布局的方形针孔阵列A和二维周期布局的方孔A；像方掩模板位于光刻机的像方工...
李艳秋汪海刘克
一种系统误差自校准的光刻机投影物镜波像差在线检测装置
本发明提供一种系统误差自校准的投影物镜波像差在线检测装置，能够实现对光刻机投影物镜波相差的高精度检测。采用设有方形针孔阵列的物方掩模板，通过方形针孔阵列产生理想的球面波，消除了照明系统对光刻机投影物镜波像差检测的影响，从...
李艳秋汪海刘克
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一种光刻机投影物镜波像差的现场测量装置
本发明涉及一种光刻机投影物镜波像差的现场测量装置。该装置基于Shack－Hartmann测量原理，包括主机和标准镜两大组成部分。主机部分包括光电传感器、衍射光学元件、准直物镜、带有圆孔的针孔掩模板，以及用于控制光路传输的...
刘克李艳秋刘丽辉汪海
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基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测方法
本发明提供一种基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测方法，具体步骤为：步骤一、在扩束准直系统出射光束的光路上依次设置一维位相光栅和光电探测单元；步骤二、采集对应0、π/2、π、3π/2相移的x方向剪切干涉图<Imag...
李艳秋汪海刘克
用于扩束准直系统波面像差检测的装置及方法
本发明提供一种用于扩束准直系统波面像差检测装置及方法，该装置包括剪切单元、调节单元、成像单元，光电探测单元、存储单元以及信号处理单元；其中，剪切单元、成像单元与光电探测单元依次设置于扩束准直系统出射光束的光路上，剪切单元...
刘克汪海李艳秋
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