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楼盈天
作品数:
32
被引量:35
H指数:3
供职机构:
浙江理工大学
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严利平
浙江理工大学
陈本永
浙江理工大学
谢建东
浙江理工大学
张恩政
浙江理工大学
杨涛
浙江理工大学
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激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法
被引量:1
2013年
介绍激光圆偏振干涉纳米位移测量系统的光路结构,针对A/D误差和直流噪声引入的位移误差,提出了基于正余弦信号切换的干涉条纹处理方法,以提高测量精度。设计基于FPGA和DSP架构的激光圆偏振干涉纳米位移测量系统,其中FPGA主要用于信号的采集、大数计数及与上位机通讯,DSP主要用于小数计算。位移实验结果表明:在0~7μm范围内,步长为100nm的测量结果其线性拟合相关系数为0.9836,标准差为1.88nm;在0~15μm范围内步长为1μm的测量结果其线性拟相关系数为0.9992,标准差为2.96nm。验证了所提出的干涉条纹处理方法和信号处理系统能够实现纳米级位移测量精度的要求。
章淼凌
严利平
楼盈天
刘燕娜
陈本永
关键词:
信号处理
一种基于混合相位调制的线性化PGC解调信号处理方法
本发明公开了一种基于混合相位调制的线性化PGC解调信号处理方法。在正弦相位调制基础上,引入了三角相位调制对激光相位调制干涉仪进行混合调制,获得干涉信号,再分别与载波信号及其二阶谐波信号混频,得到一对相位正交信号;对正交信...
楼盈天
严利平
陈本永
渥拉斯顿棱镜移动式激光干涉直线度及位移同时测量装置
本发明公开了一种渥拉斯顿棱镜移动式激光干涉直线度及位移同时测量装置。包含具有拍频信号输出的双频激光器和直线度及位移同时测量单元,其中半透射半反射平面镜和渥拉斯顿棱镜组成测量镜,该测量镜移动时,产生含有不同多普勒频差的三路...
陈本永
楼盈天
严利平
张恩政
文献传递
基于激光合成波长干涉原理的波长测量方法及装置
本发明公开了一种基于激光合成波长干涉原理的波长测量方法及装置。将参考激光器和待测激光器的输出光束调制成正交线偏振光,入射到激光合成波长干涉仪,分别形成各自的干涉信号;干涉仪的第一角锥棱镜移动时,两路干涉信号的相位差变化2...
陈本永
严利平
田秋红
刘燕娜
楼盈天
文献传递
基于卡尔曼滤波的PGC解调非线性误差补偿方法
被引量:18
2020年
针对载波相位延迟和调制深度漂移对正弦相位调制干涉仪中相位解调精度的影响,提出一种基于卡尔曼滤波的相位生成载波(PGC)解调非线性误差补偿方法。首先建立由PGC正交分量参数构成的卡尔曼滤波状态空间观测模型。然后对PGC解调的正交分量幅值和偏置进行最优估计与修正,减小相位解调的非线性误差。最后理论分析阐述该补偿方法的原理,开展模拟干涉信号的相位解调仿真测试和正弦相位调制干涉位移测量实验。实验结果表明:提出的方法能够有效减小PGC相位解调非线性误差,实现纳米级精度的位移测量。
严利平
周春宇
谢建东
陈本永
楼盈天
杨涛
关键词:
卡尔曼滤波
差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法
本发明公开了一种差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法。单频激光器输出的光束经偏振片转换为45°线偏振光,射向由分光镜、电光相位调制器、二分之一玻片、三个角锥棱镜、两个偏振分光镜组成的两套正弦相位调制干涉仪,形...
严利平
陈本永
楼盈天
谢建东
文献传递
角度误差不敏感的激光干涉直线度与位移同时测量装置
本发明公开了一种角度误差不敏感的激光干涉直线度与位移同时测量装置。包含干涉光路部分和测量组镜部分,测量组镜部分中渥拉斯顿棱镜、角锥棱镜和分光棱镜组成移动测量镜,该测量镜移动时,产生含有不同多普勒频差的两路测量光束,经两个...
楼盈天
严利平
陈本永
基于无线Mesh的无线传感器网络模拟与研究
无线传感器网络技术整合了分布式信息处理技术,嵌入式计算技术、无线网络与通信技术、传感器技术等,被广泛应用于各种领域,是二十一世纪最具有影响力的技术之一。无线Mesh网络技术与传统的无线网络技术不同,是一种多跳网络,灵活的...
楼盈天
关键词:
无线传感器网络
无线MESH
仿真模拟
文献传递
用集成四光电探测器的差分单频干涉信号处理装置及方法
本发明公开了一种用集成四光电探测器的差分单频干涉信号处理装置及方法。含有干涉单元和检测单元,在参考臂上加入光电相位调制器;检测单元包括四分之一波片、偏振片、扩束器和集成四光电探测器,用于检测测量和参考光束的干涉条纹并产生...
陈本永
楼盈天
严利平
文献传递
单频干涉直线度误差及其位置测量与补偿的装置及方法
本发明公开了一种单频干涉直线度误差及其位置测量与补偿的装置及方法。单频激光器输出的线偏振光束经半波片后,偏振方向被调整成相对于纸面成45°,调制后的线偏振光束被第一消偏振分光棱镜分光,透射光束进入渥拉斯顿棱镜型激光单频干...
陈本永
楼盈天
严利平
张恩政
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