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杨潇楠
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19
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H指数:1
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中国科学院微电子研究所
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刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
王永
中国科学院微电子研究所纳米加工...
王琴
中国科学院微电子研究所纳米加工...
张满红
中国科学院微电子研究所纳米加工...
霍宗亮
中国科学院微电子研究所
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一种应用于三维存储领域的低压带隙基准产生电路
本发明公开了一种应用于三维存储领域的低压带隙基准产生电路,该低压带隙基准产生电路包括依次连接的启动电路、运算放大器和核心电路,其中:启动电路,用于产生该运算放大器所需的偏置电流和偏置电压,从而保证运算放大器工作在正常状态...
李婷
霍宗亮
靳磊
刘璟
曹华敏
王瑜
姜丹丹
杨潇楠
刘明
文献传递
一种基于纳米晶的NAND存储器及其制作方法
本发明涉及一种基于纳米晶的NAND存储器及其制造方法,该存储器包括纳米晶存储单元和选择晶体管。纳米晶存储单元包括硅衬底,位于硅衬底中两侧的源导电区和漏导电区,源导电区与漏导电区之间的载流子沟道上覆盖的隧穿介质层,覆盖在隧...
王琴
杨潇楠
王永
张满红
霍宗亮
刘明
文献传递
一种在线检测硅纳米晶形态的方法
本发明公开了一种在线检测硅纳米晶形态的方法,包括:准备若干片硅片作为衬底,在该各衬底表面分别生长一隧穿介质层;用稀释氢氟酸处理衬底表面,再在该各衬底表面分别生长一层硅纳米晶;利用波长为365nm的单色光作为入射光入射至各...
刘明
王永
王琴
杨潇楠
文献传递
纳米晶浮栅存储器阵列的编程方法
本发明公开了一种纳米晶浮栅存储器阵列的编程方法,所述阵列由多个纳米晶浮栅存储器组成,并且还包括多条相互平行排列的位线和多条相互平行排列的字线,每个纳米晶浮栅存储器包括一个存储单元,每个存储单元均连接一条位线和一条字线,且...
王琴
杨潇楠
王永
张满红
霍宗亮
刘明
文献传递
一种在线检测硅纳米晶形态的方法
本发明公开了一种在线检测硅纳米晶形态的方法,包括:准备若干片硅片作为衬底,在该各衬底表面分别生长一隧穿介质层;用稀释氢氟酸处理衬底表面,再在该各衬底表面分别生长一层硅纳米晶;利用波长为365nm的单色光作为入射光入射至各...
刘明
王永
王琴
杨潇楠
硅纳米晶存储器的耐受性研究
2014年
首先介绍了硅纳米晶粒的制备工艺以及硅纳米晶存储器件的基本特性。接着重点探讨了硅纳米晶存储器耐久性退化的物理机制,发现应力引起的界面陷阱是耐受性退化的主要原因。随后,同时采用多种分析手段,如电荷泵法和CV曲线分析法对界面陷阱的退化机理进行了更深入细致的研究。从界面陷阱在禁带中的能级分布中发现,相较于未施加应力时界面陷阱的双峰分布,施加应力后产生了新的Pb1中心的双峰。最后,分别从降低擦写电压和对载流子预热的角度提出了三种新的编程方法,有效提高了硅纳米晶存储器件的耐受性。
姜丹丹
霍宗亮
靳磊
杨潇楠
王永
刘明
关键词:
耐受性
能级分布
2T纳米晶存储器阵列及其操作方法
本发明提供了一种2T纳米晶存储器阵列及其操作方法。该阵列包括2T纳米晶存储器、位线、源线、字线、选择晶体管字线、中间线和衬底,其中2T纳米晶存储器包括存储单元和选择晶体管。整个存储器阵列的衬底连接在一起,位线也连接在一起...
王琴
杨潇楠
王永
张满红
霍宗亮
刘明
文献传递
一种基于应变硅的纳米晶非挥发性存储器及其制作方法
本发明涉及纳米电子器件及纳米加工技术领域的一种基于应变硅的纳米晶非挥发性存储器,包括硅衬底,淀积在硅衬底上的GeSi渐变掺杂缓冲层、Ge<Sub>1-x</Sub>Si<Sub>x</Sub>舒缓层和应变硅层,位于硅衬底...
王琴
杨潇楠
刘明
王永
文献传递
基于纳米晶浮栅结构的多值非挥发性存储器的存储方法
本发明涉及基于纳米晶浮栅结构的多值非挥发性存储器的存储方法,属于存储器技术领域。所述存储方法采用热电子注入为编程方式,以FN隧穿为擦除方式,以读电流大小来区分00、01、10、11四种存储状态,从而可以在同样的面积下实现...
王琴
杨潇楠
刘明
王永
一种基于纳米晶的平行栅OTP存储器
本发明公开了一种基于纳米晶的平行栅OTP存储器,属于半导体集成电路器件技术领域。所述OTP存储器包括:P型硅衬底、隧穿介质层、覆盖在隧穿介质层上控制栅、覆盖在隧穿介质层上的纳米晶电荷存储层、源导电区、中间结及漏导电区。本...
王琴
杨潇楠
刘明
王永
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