杨济硕
- 作品数：19 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法
- 一种基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法，该方法利用主成分分析和多元线性回归分析的方法，建立了空间像光强分布与泽尼克系数之间的二阶关系模型，并利用非线性最小二乘法，优化算得表征投影物镜成像质量的波像差值。与基于空间像...
- 杨济硕王向朝闫观勇徐东波
- 基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法被引量：4
- 2013年
- 提出了一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法。通过对空间像进行统计分析,获取空间像的噪声模型和噪声标准差模型。以噪声标准差为权重因子,利用加权最小二乘法对空间像进行主成分分解,可以实现对空间像的自适应、无损降噪,从而得到更为精确的主成分系数和泽尼克系数。使用光刻仿真软件PROLITH的仿真结果表明,在相同的噪声水平下,0.1λ像差幅值内,与基于空间像主成分分析的波像差检测技术相比,精度提高30%以上。在使用光刻实验平台测量Z8调整量的实验中,该方法的精度更高。
- 杨济硕李思坤王向朝闫观勇徐东波
- 关键词：成像系统光刻机加权最小二乘法降噪
- 基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法
- 一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法，是基于空间像主成份分析的光刻机投影物镜的波像差测量技术的优化方法。本方法通过对同一视场位置的空间像进行重复采集得到相应空间像的噪声权重，再将噪声的权重转化为主成份的权重，...
- 杨济硕王向朝彭勃徐东波闫观勇段立峰
- 基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法被引量：3
- 2014年
- 提出一种基于阶梯相位环空间像主成分分析的光刻投影物镜波像差检测方法。通过对相位环空间像进行主成分分析和多元线性回归分析，构建了空间像光强分布与波像差之间的线性模型，并基于该模型实现了波像差检测。与使用孤立空检测标记的传统方法相比，使用新检测标记能够消除不同种类波像差之间的串扰问题，提高像差检测精度。同时，分析了空间像的离焦误差对波像差检测精度的影响，并提出了一种迭代算法用于确定实测空间像的离焦误差，其测量精度优于1nm。光刻仿真软件Dr．LiTHO的仿真结果表明，该法有能力检测12项泽尼克系数（Z5～Z15），最大系统误差约为1×10^-3λ，检测速度可提高一倍以上。
- 杨济硕王向朝李思坤闫观勇
- 关键词：成像系统光刻主成分分析
- 基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法
- 一种基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法，该方法采用相位环作为检测标记，通过对相位环空间像进行主成分分析，提取出受像差影响的空间像的主成分，再利用多元线性回归分析建立主成分系数与波像差之间的线性关系模型，根...
- 杨济硕王向朝李思坤闫观勇诸波尔
- 基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法
- 一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法，是基于空间像主成份分析的光刻机投影物镜的波像差测量技术的优化方法。本方法通过对同一视场位置的空间像进行重复采集得到相应空间像的噪声权重，再将噪声的权重转化为主成份的权重，...
- 杨济硕王向朝彭勃徐东波闫观勇段立峰
- 基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法
- 一种基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法，该方法利用主成分分析和多元线性回归分析的方法，建立了空间像光强分布与泽尼克系数之间的二阶关系模型，并利用非线性最小二乘法，优化算得表征投影物镜成像质量的波像差值。与基于空间像...
- 杨济硕王向朝闫观勇徐东波
- 基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法
- 本文提出了一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法(AMAI-WLSQ)。2011年段立峰等人提出了一种基于空间像主成分分析的光刻机投影物镜波像差在线检测技术(AMAI-PCA),AMAI-PCA通过主成分分析和...
- 杨济硕王向朝闫观勇徐东波李思坤
- 关键词：投影物镜
- 自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法
- 一种自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法，首先采集待测空间像，然后得到与待测空间像对应的主成分和回归矩阵，并对主成分插值。待测空间像裁剪之后，经过粗定心流程，待测空间像位置估计值判断流程和精定心流程得到待测空间像对应...
- 闫观勇王向朝杨济硕徐东波段立峰
- 基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法
- 一种基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法，通过最大光强位置对仿真和实测空间像进行定心，然后对仿真空间像进行主成份分析得到主成份矩阵，再建立主成份系数与泽尼克系数之间的回归矩阵，最后利用主成份矩阵和回归矩阵求解实测空间...
- 杨济硕王向朝步扬彭勃殷立峰
