李艳辉
- 作品数：7 被引量：5H指数：2
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 基于二维扩散方程的牺牲层腐蚀模拟与仿真被引量：1
- 2006年
- 深入研究了牺牲层腐蚀机制,给出了可以在二维平面中模拟腐蚀过程的仿真程序。由于腐蚀主要由腐蚀溶液的扩散机制所影响,对溶液的二维扩散方程给出了求解的有限差分算法,得到了在具体时间和位置的浓度,再利用T opography模型计算腐蚀前端面的腐蚀进行情况得到腐蚀前端行进的轮廓线,通过编程得到了能够模拟不同开口牺牲层结构的仿真程序。最后给出模拟结果和实验腐蚀结果的对比。
- 李艳辉李伟华周再发
- 关键词：牺牲层腐蚀二维扩散方程
- 牺牲层腐蚀二维数值模拟与仿真被引量：2
- 2006年
- 建立了基于扩散方程的二维腐蚀模型,并给出相应的边界条件.为求解二维扩散方程,分别给出了有限差分显式和隐式求解算法.得到了每一时刻溶液在具体位置的浓度值,再由Topography模型计算腐蚀前端面的腐蚀情况得到腐蚀前端行进轮廓线.编程实现了对多种不同牺牲层几何结构以及组合结构腐蚀过程的仿真,最后实验验证了模拟的真实性.
- 李艳辉李伟华
- 关键词：牺牲层腐蚀差分算法
- 氢氟酸腐蚀牺牲层数值模型及计算机仿真
- 本文介绍了在硅微机械加工的牺牲层释放中,氢氟酸(HF)腐蚀磷硅玻璃(PSG)模型的建立过程,详细阐述了Powerlaw模型.根据模型给出了数值求解算法并进行了C语言编程工作,实现了对腐蚀过程的计算机仿真,并对牺牲层腐蚀的...
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- 关键词：牺牲层腐蚀计算机仿真
- 文献传递
- 牺牲层腐蚀平面二维模拟与仿真
- 2005年
- 介绍了影响氢氟酸溶液腐蚀牺牲层速率的主要因素,阐述了一二阶联合模型以及这个模型的极坐标推广。详细讨论了极坐标扩散方程的数值求解算法,并对算法进行了适当的优化,利用C语言进行了计算机编程实现了对腐蚀过程的仿真最后给出腐蚀单端开口结构腐蚀过程的仿真结果。
- 李艳辉李伟华周再发
- 关键词：牺牲层腐蚀腐蚀速率计算机仿真
- 氢氟酸腐蚀牺牲层数值模型及计算机仿真
- 2005年
- 介绍了在硅微机械加工的牺牲层释放中,氢氟酸(HF)腐蚀磷硅玻璃(PSG)模型的建立过程,详细阐述了Power law模型.根据模型给出了数值求解算法并进行了C语言编程工作,实现了对腐蚀过程的计算机仿真,并对牺牲层腐蚀的二维模型进行了探讨.
- 李艳辉李伟华周再发
- 关键词：牺牲层腐蚀计算机仿真
- 牺牲层腐蚀模型与模拟研究
- 牺牲层腐蚀技术是微电子机械系统 (MEMS) 表面制造工艺技术之一，对 MEMS 器件的性能有着非常重要的影响。因此，牺牲层腐蚀过程的控制和模拟对于牺牲层腐蚀有着重要的指导意义。本文将利用计算机辅助设计(CAD)技术实现...
- 李艳辉
- 关键词：微电子机械系统牺牲层腐蚀计算机辅助设计腐蚀速率
- 文献传递
- 氢氟酸腐蚀牺牲层数值模型及计算机仿真
- 介绍了在硅微机械加工的牺牲层释放中,氢氟酸(HF)腐蚀磷硅玻璃(PSG)模型的建立过程,详细阐述了Power law模型。根据模型给出了数值求解算法并进行了C语言编程工作,实现了对腐蚀过程的计算机仿真,并对牺牲层腐蚀的二...
- 李艳辉李伟华周再发
- 关键词：牺牲层腐蚀计算机仿真
- 文献传递
