徐晓刚
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 一种新型可调谐光栅的制作工艺被引量：4
- 2005年
- 基于MEMS工艺,用硅橡胶制作了光栅常数可变型光栅,可用于光学MEMS器件中的关键部件,给出了可调谐光栅的详细制作工艺。经ANSYS对硅橡胶衬底光栅的弹性模量动态模拟,结果显示本光栅具有良好的线性响应。
- 徐晓刚郑川高文秀
- 关键词：微机电系统
- 用(110)硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管被引量：1
- 2005年
- 描述了一种用(110)晶面硅片制造微米针管的新方法。利用硅晶面在各向异性腐蚀中出现的凸角结构形成针管的三维构造,针管内径约10μm,外径约90μm,长度约500μm。整个针管结构平坦,便于与微泵等其他MEMS器件相接合,用于无痛皮下注射器和生化采样等。微米针管的制作工艺相对简单,材料廉价,适合于工业化批量生产。
- 郑川徐晓刚高文秀
- 关键词：MEMS各向异性腐蚀
