张廷凯
- 作品数：8 被引量：7H指数：2
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- 一种热键合装置
- 本发明提供了一种热键合装置，主要包括外腔、加压装置、上加热器和位于外腔底部的基座，基座中间部分为凸台，凸台内设有沉控，沉孔内装有弹簧，弹簧伸出凸台的一端上放置球头小柱，在球头小柱上依次放置隔热板和下加热器；在基座凸台两侧...
- 甘志银张廷凯
- 文献传递
- 一种阳极键合装置
- 本发明提供了一种阳极键合设备，主要包括外腔、加压装置、电极和位于外腔底部的自动调平装置，自动调平装置含有基板，基板包括底盘和位于其上的凸台，凸台内部均匀开有至少三个沉孔，沉孔内放置弹簧，弹簧的上端放置球头柱，该球头柱为半...
- 甘志银张廷凯
- 文献传递
- 基于CPT原理原子钟的频率控制系统
- 2009年
- 在J.Vanier工作的基础上,根据CPT(Coherent Population Trapping:相干布局数囚禁)原子钟的系统组成和工作原理,导出了基于CPT原理原子钟的频率控制系统模型,对于基于CPT原理原子钟的分析和设计工作具有实际的指导意义。
- 张廷凯甘志银张鸿海
- 关键词：原子钟CPT
- 两电极多层阳极键合实验研究被引量：4
- 2009年
- 介绍了用2个电极通过一次电极反接的方式实现多层样片之间阳极键合的操作工艺和键合机理,并以玻璃—硅—玻璃三层结构为例对其进行了实验研究。结果显示:多余的玻璃对第一次键合过程的电流特性影响不大,而第一次键合的玻璃对第二次键合电流产生显著的影响,电流出现不规则的突变。而且,在第二次键合过程中,第一次键合的玻璃在键合面上会出现由于钠元素积聚而产生的黄褐色斑点。拉伸强度实验的结果表明:第二次键合过程中在第一次键合面形成的反向电压会减弱键合的强度;通过合理选择键合参数可以得到满足MEMS封装要求的键合强度。
- 张廷凯甘志银张鸿海
- 关键词：阳极键合微机电系统封装
- 相干布局数囚禁原子钟微型化研究
- 原子钟是精确的计时工具，在天文、航空航天、卫星导航和物理科学等方面扮演重要角色，但由于其体积较大，在很大程度上限制了其应用的范围。实现原子钟的微型化能够拓展原子钟在不同行业的应用，扩大原子钟的应用领域，将会带来积极的社会...
- 张廷凯
- 关键词：原子钟
- 文献传递
- 一种热键合装置
- 本发明提供了一种热键合装置，主要包括外腔、加压装置、上加热器和位于外腔底部的基座，基座中间部分为凸台，凸台内设有沉孔，沉孔内装有弹簧，弹簧伸出凸台的一端上放置球头小柱，在球头小柱上依次放置隔热板和下加热器；在基座凸台两侧...
- 甘志银张廷凯
- 文献传递
- 一种阳极键合装置
- 本发明提供了一种阳极键合设备，主要包括外腔、加压装置、电极和位于外腔底部的自动调平装置，自动调平装置含有基板，基板包括底盘和位于其上的凸台，凸台内部均匀开有至少三个沉孔，沉孔内放置弹簧，弹簧的上端放置球头柱，该球头柱为半...
- 甘志银张廷凯
- 文献传递
- 一种原子钟系统的碱金属腔体制备技术被引量：3
- 2011年
- 简要介绍了相干布局数囚禁(CPT)原子钟的实现机理,对构成原子钟系统的碱金属腔及其制作方法进行论述。在对几种不同的碱金属腔制备技术对比的基础上,研制成功了原子钟腔体的专用键合设备,并成功进行了Rb腔的制作,Rb腔测试结果表明:腔体键合质量良好,封装入的Rb元素较纯净,可用于原子钟系统。
- 徐建张廷凯甘志银刘胜
- 关键词：微机电系统
