张世表
- 作品数:6 被引量:5H指数:2
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- 相关领域:理学一般工业技术文化科学更多>>
- CoSi_2薄膜电学性质研究
- 1999年
- 对厚度约为0.4μm的CoSi2多晶薄膜的电学性质进行了研究。在-200℃~20℃温度范围,测量了CoSi2薄膜的电阻率。室温下,电阻率为9~20μΩ·cm.随着温度的降低,电阻率减小,且表现出较好的直线性。
- 李秀燕李秀燕张世表李麓维
- 关键词:电阻率多晶薄膜电学性质
- 一种新的改性TGS单晶—AMTGS被引量:2
- 1990年
- 本文报导了用氨基甲磺酸部分取代硫酸三甘肽(TGS)晶体中的甘氨酸,生长出来的新晶体为硫酸三甘肽/氨基甲磺酸(AMTGS)。讨论了生长环境及其生长习性。进行了硫的元素分析,测定了晶体的介电和热释电性能。实验发现:AMTGS晶体易于生长,可以得到晶体外形类似于规则的斜方晶形的单晶体,在室温下,空间群仍为P2_1。AMTGS晶体具有较高的介电常数,因此其优值比TGS晶体稍低。
- 郑吉民范京富车云霞申泮文张世表朱亚平温金珂王华馥
- 关键词:晶体
- 钴硅化物的X光研究
- 1990年
- 本文采用READx光相机照像的方法,对部分不同退火温度和退火时间的Co/si系薄膜样品进行了x射线衍射分析,对目前尚有争议的一些问题给出了部分实验结果和结论。并对Co/si薄膜反应中出现的织构情况,我们通过对READx光相机加入新的照像方法,方便地定出了一些钴硅化物织构情况。
- 黄晖张世表
- 钴硅化物薄膜的X光分析被引量:1
- 1990年
- 对真空蒸镀在Si(111)衬底上的钻膜及退火后在CO/Si界面形成的钻硅化物薄膜进行了研究。所用仪器为X光衍射仪和改进型Read相机。测定了Co、Co_2Si、CoSi及CoSi_2薄膜的晶格常数和织构,并对Co/Si界面在低温退火(<500℃)过程中硅化物的演变进行了分析。证明:在金属钴耗尽前Co_2Si和CoSi共同生长,金属钴耗尽后Co_2Si逐渐向CoSi转化。通过与RBS谱的对比证实了这一结果的可靠性。
- 张世表李秀燕李宝会李麓维薛召南潘士宏
- 关键词:硅化物低温退火晶格常数退火过程真空蒸镀退火时间
- CoSi_2 薄膜的织构研究被引量:2
- 1998年
- 对厚度约为0.4μm的CoSi2多晶薄膜的织构进行了研究。X射线极图分析表明,薄膜表现出与以往文献中所报导的CoSi2薄膜完全不同的织构类型。在Si(111)衬底上织构轴为[130],且平行于Si[111]。除[130]织构轴外,其它晶向亦有择优取向。
- 李秀燕张世表潘士宏李麓维
- 关键词:织构极图
- 用Read X射线相机分析薄膜织构的方法研究
- 1999年
- 提出用ReadX射线相机照相制作多晶薄膜极图,进而确定薄膜织构的方法,并推导出相关公式。
- 李秀燕张世表
- 关键词:极图织构微结构