廖飞红
- 作品数：10 被引量：29H指数：4
- 供职机构：华中科技大学更多>>
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- 相关领域：理学一般工业技术电子电信机械工程更多>>
- 主动减振器结构参数优化设计被引量：7
- 2013年
- 主动减振系统由3个以上减振器构成,其固有频率直接决定了系统隔振带宽,且减振器水平向隔振广泛采用摆机构。柔性杆直径及杆长是影响摆机构水平向刚度的主要几何参数。根据材料弹性变形理论建立了摆机构的水平向刚度模型及最大拉应力模型。在给定的负载质量范围内,以主动减振系统水平向固有频率与目标值的均方差最小作为优化目标,将许用拉应力和最大尺寸作为设计约束,应用序列二次规划法求解该非线性优化模型,得出摆机构的最优设计参数及对应的均方差。基于3σ准则,可估计主动减振系统的水平向固有频率分布范围。在许用固有频率范围约束下,得到摆机构参数的允许范围。实验结果表明:减振系统固有频率的测试值与理论分析值的差异小于10%;加入主动控制后,振动传递率的共振峰小于0dB,大于6Hz的振动传递率小于-20dB。
- 李小平廖飞红陈学东李巍
- 关键词：结构参数优化
- 一种水平二自由度隔振机构
- 本发明提供一种水平二自由度隔振机构，包括一连接板，连接板中心插有活塞杆，圆盘的沿周均匀安放有四个磁浮单元。利用磁铁(包括电磁铁和永磁体)的同极相斥产生的正刚度特性，以及磁铁异极相吸产生的负刚度特性，将磁浮单元设计为正负刚...
- 陈学东李小平刘雷钧李巍廖飞红罗欣曾理湛徐振高胡元太严天宏徐甲强
- 文献传递
- 一种水平二自由度隔振机构
- 本发明提供一种水平二自由度隔振机构，包括一连接板，连接板中心插有活塞杆，圆盘的沿周均匀安放有四个磁浮单元。利用磁铁(包括电磁铁和永磁体)的同极相斥产生的正刚度特性，以及磁铁异极相吸产生的负刚度特性，将磁浮单元设计为正负刚...
- 陈学东李小平刘雷钧李巍廖飞红罗欣曾理湛徐振高
- 一种用于真空环境的减振器
- 本发明提供了一种用于真空环境的减振器，包括一腔体，腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧，气缸的侧臂连接高压气源，气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮，腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件，其中一侧臂...
- 李小平廖飞红陈学东李巍刘雷钧罗欣徐振高曾理湛
- 电气噪声对地音传感器低频扩展范围的影响分析被引量：2
- 2011年
- 地音传感器被广泛采用串联校正方法进行低频扩展以实现对低频及超低频振动的准确测量,电气噪声是影响其低频扩展范围的关键因素。建立了包含测量、预放大、传输及串联校正环节在内的多输入单输出地音传感器测振模型,定量分析了初、次级电气噪声水平与地音传感器低频扩展范围之间的关系。研究结果表明,初级电气噪声是限制地音传感器低频扩展范围的主要因素,次级噪声的影响主要取决于其与初级噪声的幅值之比及预放大倍数,影响程度较小。据此研究方法,可方便求得某一地音传感器在一定电气噪声水平下可获得的最低测振频率,为地音传感器的选型及低频测振应用提供了依据。
- 刘雷钧李小平廖飞红
- 关键词：电气噪声串联校正
- 调焦调平探测光斑位置误差对测量准确度影响的研究被引量：9
- 2010年
- 调焦调平测量系统(FLMS),实时测量硅片曝光视场区域与投影物镜焦面的相对位姿,其测量准确度影响光刻机曝光成像质量。调焦调平测量采用大入射角将3个以上的探测光斑投影到硅片曝光视场区域实现对硅片高度和倾斜的测量。如果光斑位置存在误差,就会引起硅片测量准确度误差,进而造成硅片曝光视场区域离焦,影响曝光成像质量。根据调焦调平单点几何测量模型,建立了光斑位置误差模型。研究结果表明,调焦调平单光斑的测量高度误差与光斑水平位置误差成正比,经调整调焦调平的零平面与焦面近似平行,并精确校准光斑水平位置误差到0.05 mm,其造成的测量误差最大为10 nm。
- 廖飞红李小平陈学东李志丹
- 关键词：光刻机
- 一种用于真空环境的减振器
- 本发明提供了一种用于真空环境的减振器，包括一腔体，腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧，气缸的侧臂连接高压气源，气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮，腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件，其中一侧臂...
- 李小平廖飞红陈学东李巍刘雷钧严天宏王新杰罗欣徐振高曾理湛
- 文献传递
- 精密运动台主动减振与重力补偿技术的研究
- 2014年
- 基板运动台是平板显示扫描光刻机最关键的分系统之一，其精度和稳定性直接影响光刻机的产率、Overlay和成像质量。与IC前道光刻机的硅片台相比，基板运动台具有运动行程更大、扫描速度更快、负载更大、电动机驱动反力更大的特点，
- 廖飞红李小平邵新宇
- 关键词：补偿技术OVERLAY光刻机平板显示
- 精密主动减振器技术研究现状与进展被引量：8
- 2012年
- 环境振动直接降低精密制造和测量设备的动态性能,成为其性能的主要影响因素。主动减振器用于衰减地基振动和负载直接扰动,以维持精密设备的负载平台的稳定性。主动减振器按固有频率的差异,区分为软式主动减振器和硬式主动减振器。高刚性的硬式主动减振器衰减负载的直接扰动力和结构模态,低刚性的软式主动减振器能较好的隔离地基振动。论述两种类型主动减振器的结构技术的研究成果、研究进展和及其应用。针对精密设备发展对主动减振器的应用需求,对硬式主动减振器和软式主动减振器的结构技术的发展前景进行展望,指出其发展面临的挑战与有待解决的关键技术。
- 廖飞红李小平陈学东袁志扬李巍
- 精密运动台主动减振与重力补偿技术的研究
- 基板运动台是平板显示扫描光刻机最关键的分系统之一,其精度和稳定性直接影响光刻机的产率、Overlay和成像质量。与IC前道光刻机的硅片台相比,基板运动台具有运动行程更大、扫描速度更快、负载更大、电机驱动反力更大的特点,这...
- 廖飞红
- 关键词：超精密定位
- 文献传递
