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尤晶晶

作品数：7 被引量：10H指数：2
供职机构：南京师范大学更多>>
发文基金：江苏省科技厅产学研前瞻性项目国家自然科学基金江苏省普通高校研究生科研创新计划项目更多>>
相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 7篇光刻
  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇光纤
  • 4篇速度传感器
  • 4篇紫外光刻
  • 4篇加速度
  • 4篇加速度传感器
  • 4篇法布里-珀罗...
  • 3篇光刻胶
  • 3篇法布里-珀罗
  • 2篇压力传感器
  • 2篇力传感器
  • 2篇硅片
  • 2篇SU-8光刻...
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇应力
  • 1篇块结构

机构

  • 7篇南京师范大学

作者

  • 7篇尤晶晶
  • 6篇王鸣
  • 6篇戴丽华
  • 5篇朱佳利
  • 2篇贾晟
  • 2篇蔡东艳
  • 2篇戎华
  • 2篇张丛丛

传媒

  • 2篇光学学报

年份

  • 2篇2015
  • 4篇2013
  • 1篇2012
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
基于SU-8光刻胶的光纤加速度传感器的研究
目前越来越多的工业应用，特别是一些特殊应用领域，如桥梁建筑的结构检测系统、交通监测系统、石油勘探的地震检波系统、以及航空航天的制导系统等，急需一种具有抗电磁干扰、灵敏度高、动态范围大、复用性强的高性能加速度传感装置。基于...
尤晶晶
关键词：光纤传感加速度传感器SU-8光刻胶
文献传递
微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器，是通过传统的MEMS微细加工与近紫外光刻技术相结合形成的：在硅敏感膜上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个位移柱以及光纤的定位槽，位移柱的端面以及光纤的端面形成法...
王鸣戴丽华蔡东艳朱佳利贾晟尤晶晶张丛丛
文献传递
一种光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法
本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构，质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为...
王鸣尤晶晶戴丽华朱佳利
文献传递
微型法布里-珀罗干涉剪应力传感器的设计及仿真被引量：2
2012年
针对微流体检测对高灵敏度和较大动态测量范围的要求，设计了一种由SU-8光刻胶一体合成的微型法布里-珀罗（F-P）干涉剪应力传感器。结构兼具SU-8胶微尺寸材料优越的力学性能和法布里-珀罗传感测量高精度和抗干扰性的优点，采用新型组合型浮动块设计，利用圆柱状底座提高对敏感膜形变的感知，提高传感器的结构响应。探讨了提高剪应力灵敏度和线性度的方法，通过CoventorWare软件数值模拟，确定模型的最优参数，仿真计算得出在o～10Pa范围内其灵敏度可以达到0．252nm／Pa（光谱偏移／剪应力）；相比较于传统的设计，在相同的作用下，组合型浮动块的机械位移量增加了约40．85％，提高了敏感元件的灵敏度。仿真结果表明，该模型由于采用一体化材料可以降低工作环境温度对传感器的影响，同时具备可靠的性能，为剪应力传感器设计的改进提出了可行的方案。
戴丽华王鸣戎华尤晶晶朱佳利
关键词：传感器剪应力
微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器，是通过传统的MEMS微细加工与近紫外光刻技术相结合形成的：在硅敏感膜上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个位移柱以及光纤的定位槽，位移柱的端面以及光纤的端面形成法...
王鸣戴丽华蔡东艳朱佳利贾晟尤晶晶张丛丛
文献传递
一种光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法
本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构，质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为...
王鸣尤晶晶戴丽华朱佳利
文献传递
基于SU-8光刻胶光纤法布里-珀罗加速度传感器被引量：8
2013年
基于SU-8光刻胶的高深宽比加工技术,设计了对加速度敏感的悬臂梁-质量块结构。理论推导了加速度与SU-8光刻胶悬臂梁-质量块结构的挠度、法布里-珀罗(F-P)腔的干涉光强之间的关系,得到了简化的计算公式,并讨论了传感器灵敏度和固有频率等主要影响因素。提出了一种新的"卍"形悬臂梁-质量块结构,分析和确定了传感器结构的各项参数。研究结果表明,"卍"形SU-8光刻胶结构能够得到较高的灵敏度,具有良好的检测模态,仿真结果与理论分析吻合,可以基于法布里-珀罗干涉原理实现对加速度的传感。
尤晶晶王鸣戎华戴丽华
关键词：传感器加速度传感器SU-8光刻胶
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