周洁 作品数:31 被引量:15 H指数:2 供职机构: 中国科学院半导体研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 浙江省自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 更多>>
分子束外延生长AlGaAs/GaAs GRINSCH SQW激光器中高温陷阱的研究 1993年 应用深能级瞬态谱(DLTS)技术研究分子束外延(MBE)生长的AlGaAs/GaAs gradedindex separate confinement heterostructure single well(GRIN-SCH SQW)激光器的高温陷阱。样品的DLTS表明,在激光器的n-AlGaAs层里存在着高温(空穴、电子)陷阱,它直接影响着激光器的性能。高温空穴陷阱可能分布在x_(Al)=0.2→0.43和x_(Al)=0.43的n-AlGaAs层界面附近,而高温电子陷阱则可能分布在X_(Al)=0.43的n-AlGaAs层里X_(Al)值不连续的界面附近。高温电子陷阱的产生可能与AlGaAs层里的O有关。 卢励吾 周洁 徐俊英 钟战天关键词:分子束外延 P-InP MIS结构界面陷阱的深能级研究 1993年 对经PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)生长的P-InP MIS结构的界面陷阱进行了研究。样品介质膜生长是在特定条件下进行的。分别利用C-V和DLTS(Deep Level Tran sient Spectroscopy)技术进行研究。结果表明,在介质膜和InP之间的InP一侧有界面陷阱存在,并获得了与之有关的深能级参数。这些陷阱可能是在不同生长条件的介质膜淀积过程中等离子体引进的有关辐照损伤。 卢励吾 周洁 瞿伟 张盛廉关键词:MIS结构 深能级 INP 分子束外延生长的赝配高电子迁移率晶体管结构中深能级的研究 被引量:1 1993年 应用深能级瞬态谱(DLTS)技术详细研究分子束外延生长的Pseudomorphic—high elec-tron mobility transistor(P-HEMT)结构中深能级行为。样品的DLTS表明,在P-HEMT结构的n-AlGaAs层里存在着较大浓度(10^(15)-10^(17)cm^(-3)和俘获截面(10^(-16)cm^2)的高温电子陷阱。它们直接影响着器件性能。高温电子陷阱的产生可能与AlGaAs层里的氧含量有关。实验结果还表明,DLTS技术有可能成为器件优化设计的一种工具。 卢励吾 周洁 梁基本 孔梅影关键词:晶体管 能级 电子迁移率 硅中与钼有关能级的研究 被引量:2 1992年 利用深能级瞬态谱(DLTS)技术,并通过电子辐照、等时热退火等物理过程,鉴别了Si中与钼有关能级的本质.钼在Si中产生两个主要能级E(0.53)和H(0.36),前者为受主态,后者为施主态,这两个能级都与替位Mo原子有关. 周洁 卢励吾 韩志勇 吴汲安关键词:硅 钼 能级 电子辐照 Hg_(1-x)Cd_xTe深缺陷能级研究 1994年 利用深能级瞬态谱(DLTS)研究了Hg_(1-x)Cd_xTe(x=0.4)p^+n光伏二极管中的缺陷能级.通过改变注入脉冲条件,获得2个电子陷阱和2个空穴陷阱,电子陷阱的能级位置分别为E(0.06)和E(0.15),空穴陷阱的能级位置分别为H(0.075)和H(0.29).这些深能级的浓度约为浅能级浓度的百分之几.通过改变注入脉冲的宽度,测量了这些能级的多子俘获截面,根据这些深能级的特征参数,估算了器件的少子寿命和零偏压的动态电阻与面积的乘积,并讨论了一些缺陷能级的本质. 周洁 封松林 卢励吾 司承才 李言谨 胡晓宁关键词:深能级瞬态谱 HGCDTE 低压-金属有机物汽相外延生长的Ga_(1-x)In_xAs/InP激光器中深能级的研究 1994年 应用深能级瞬态谱(DLTs)技术详细研究低压-金属有机物汽相外延(LP-MOVPE)生长的Ga_(0.47)In_(0.53)As/Inp量子阱、宽接触和质子轰击条形异质结激光器中的深能级。样品的DLTS表明,在宽接触激光器的i-Ga_(0.47)In_(0.53)As有源层里观察到H1(E_v+0.09eV)和E1(E_c-0.35eV)陷阱,它们可能分别与样品生长过程中扩散到i-Ga_(0.47)In_(0.53)As有源层的Zn和材料本身的原生缺陷有关。而条形激光器的i-Ga_(0.47)In_(0.53)As有源层的H2(E_v+0.11eV)和E2(E_v-0.42eV)陷阱则可能是H1和E1与质子轰击引起的损伤相互作用的产物。 卢励吾 周洁 封松林 段树坤关键词:半导体激光器 能级 汽相外延生长 4d过渡金属Zr在GaAs中的物理行为 马红 周洁关键词:半导体材料 砷化镓 锆 硅直接键合界面附近的深能级研究 被引量:5 1994年 利用扩展电阻探针(SRP)和深能级瞬态谱(DLTS)技术详细研究了直接键合的n-Si/n ̄(+)-Si界面附近的深能级。实验结果表明,在直接键合的n-Si/n ̄(+)-Si界面n-Si一侧附近可观察到一个明显的电子陷阱E1(E_c-0.39eV)。E1可能是由若干个能级位置相近的陷阱迭加而成的,其浓度在10 ̄(13)-10 ̄(14)cm ̄(-3)之间。它可能是与制备键合材料的高温(1000-1100℃)处理过程中产生的空位和热应力有关。 卢励吾 周洁 封松林 钱照明 彭青关键词:硅 键合 能级 直接键合 GaAs中过渡族杂质Pd和Zr有关的深中心 1995年 采用结谱、光荧光等技术对Pd和Zr在GaAs中的光学和电学性质进行了研究.在GaAs:Pd中观测到三个能级,分别位于导带下0.4eV、0.60eV和价带上0.69eV.在GaAs:Zr中也观测到三个能级,分别位于导带下0.43eV和价带上0.32eV和0.55eV.基于深中心所表现出的Poole-Frenkel效应,讨论了一些中心对应的荷电态,对它们的俘获和对光致发光的影响也作了研究.结果表明:Pd和Zr在GaAs中均不是有效的复合中心. 马红 杨锡震 周洁 卢励吾 封松林关键词:砷化镓 钯 氢对硅中4d过渡杂质的钝化 被引量:1 1994年 本文研究了氢原子与Si中4d过渡杂质(Pd、Rh、Ru、Mo)引入深中心的相互作用,得到了Si中这些深中心被钝化的难易程度.从钝化角度支持了Si:Pd与Si:Rh中有关能级属于同一中心、不同荷电态的判断,同时提出了Si:Mo中E(0.53)和H(0.16)两个能级属于同一中心、不同荷电态的证据,通过氢对已知同一中心、不同荷电态两个能级的相互作用,对氢的钝化机理作了初步探讨. 周洁 王永康 孙景兰 卢励吾 吴汲安关键词:硅 氢 钝化