刘梦伟
- 作品数：66 被引量：69H指数：5
- 供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院重点部署项目中国科学院声学研究所所长择优基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 一种基于反射延迟线的声表面波结冰传感器及其系统
- 本发明公开了一种基于反射延迟线的声表面波结冰传感器及其系统，该传感器包括：压电晶片基片、叉指换能器、第一反射器、储水装置、第二反射器、第三反射器；还包括波导层和与叉指换能器连接的信号传输天线；信号传输天线用于与外部射频读...
- 王文尹怡宁贾雅娜刘梦伟梁勇薛蓄峰
- 文献传递
- 一种用于深空探测的Chirp变换频谱分析仪设计与实现
- 2021年
- 根据深空探测对频谱分析仪抗辐射、高分辨率、低功耗的需求,研究一种基于Chirp变换的高分辨率频谱分析仪设计及其实现.利用中心频率为1GHz、带宽为400MHz、色散时间为10μs的声表面波滤波器,提出了一种模拟和数字相结合的高分辨率频谱分析仪设计方案,并搭建原理实验系统完成了实测验证,其分析带宽为400MHz,频率分辨率达到152kHz,功耗约为3.6W.分析了压缩线器件非理想特性对频率分辨率的影响,利用实测压缩线频率响应特性获得幅度和相位补偿曲线,对展宽线信号进行幅相失配补偿.仿真结果表明,该补偿方法可将频率分辨率提高至108kHz.
- 王业欢董晓龙朱迪刘梦伟宫俊杰
- 关键词：深空探测声表面波滤波器高分辨率低功耗
- 基于铁电PZT膜面内极化工作的硅微压电传声器及其制备方法
- 基于铁电PZT膜面内极化工作的硅微压电传声器及其制备方法属于硅微压电传声器技术领域，其特征在于：硅微压电传声器由从上到下依次放置的电极、面内极化的铁电PZT膜层、氧化锆过渡层、振动膜层、高温二氧化硅圆形倒模层、体硅刻蚀方...
- 刘梦伟汪承灏李俊红
- 文献传递
- 高次谐波体声波谐振器的有效机电耦合系数被引量：5
- 2016年
- 高次谐波体声波谐振器HBAR（High—overtone Bulk Acoustic Resonator）由基底、压电薄膜和卜r电极组成，系统地研究了它们的结构参数（厚度）和性能参数（特性阻抗）对HBAR的重要性能参数有效机电耦合系数K2eff的影响。框谐振频率附近，通过将HBAR的分布参数等效电路简化为集总参数等效电路得到了它们之间的关系表达式，分析了K2eff在所关心频率最近谐振点的变化情况。结果表明，保持压电薄膜厚度不变，连续增加基底厚度，K2eff呈振荡（非单调）下降，当基底厚度达到一定值时Ⅳ量与厚度成反比下降；保持基底厚度不变，连续增加压电薄膜厚度，K2eff的峰值随基底和雕电层的特性阻抗之比增加快速下降，到达极小值后缓慢增加；选择低阻抗的熔融石英作为基底可以获得较大的凡甬；与A1电极相比，Au电极选择适当厚度可以获得较高的K2eff。上述揭示的一些规律为HBAR的优化设计提供了理论依据。
- 李鉴汪承灏刘梦伟
- 关键词：声学特征韵律感修正系数
- 软支撑桥式硅微压电传声器芯片及其制备方法
- 一种软支撑桥式硅微压电传声器芯片包括：中心设由上小下大方锥形孔的硅基片，其正面覆有由第一氮化硅膜层、二氧化硅膜层和第二氮化硅膜层构成的方形复合振动膜，硅基片背面依次覆有第三和第四氮化硅膜层；第三和第四氮化硅膜层有中心方孔...
- 李俊红汪承灏刘梦伟徐联
- 文献传递
- 微型硅基弯曲板波器件
- 2012年
- 介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波(FPW)器件的设计与制作。为减小薄膜的应力,器件采用LTO/ZnO/LTO/Si3N4多层复合板结构,并采用直流磁控溅射工艺制备ZnO压电薄膜,在压电复合板结构上沉积两对叉指电极,分别用于Lamb波的激发和接收。X射线衍射分析表明,沉积的ZnO薄膜C轴高度择优;扫描电子显微镜分析表明,制备的ZnO薄膜平整、致密,晶粒生长呈现明显的柱状结构;通过分析制备的高次谐波体声波谐振器(HBAR)器件性能来间接检验ZnO压电薄膜的电学性能,HBAR器件的品质因子较高,表明薄膜有较好的压电性能。利用安捷伦E5071C网络分析仪检测FPW器件的频率响应,结果表明反对称A0模式Lamb波的实测中心频率与理论计算的频率结果基本一致。
- 李新刘梦伟薛明鑫
- 关键词：ZNO压电薄膜叉指电极
- 基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作
- 本文设计了基于PZT压电薄膜的双层和双片压电微悬臂梁结构,利用压电材料的正压电效应和逆压电效应,通过两个压电元件实现传感和执行功能的集成.悬臂梁结构采用体硅加工工艺制作,锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT)压电薄膜...
- 刘梦伟佟建华崔天宏董维杰崔岩王兢王立鼎
- 关键词：微悬臂梁
- 文献传递
- 一种提高Chirp变换频谱分析仪系统展宽线与压缩线匹配度的方法
- 本发明属于深空探测技术领域，具体地说，涉及一种提高Chirp变换频谱分析仪系统展宽线与压缩线匹配度的方法，该方法包括：步骤1)搭建Chirp变换频谱分析仪系统；步骤2)获得压缩脉冲的两个关键参数与展宽线调频斜率的关系图；...
- 刘梦伟茹鹏磊宫俊杰王文张碧星
- 基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作被引量：1
- 2005年
- 设计了基于PZT压电薄膜的双层和双片压电微悬臂梁结构,利用压电材料的正压电效应和逆压电效应,通过两个压电元件实现传感和执行功能的集成.悬臂梁结构采用体硅加工工艺制作,锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT)压电薄膜采用sol-gel方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制作,压电薄膜具有完整的钙钛矿结构和(111)择优取向.为了提高悬臂梁的性能和制作成品率,对制作微悬臂梁的关键工艺进行了优化.
- 刘梦伟佟建华崔天宏董维杰崔岩王兢王立鼎
- 关键词：PZT薄膜压电微悬臂梁
- 一种电极串联式硅微压电传声器
- 本发明涉及电极串联式硅微压电传声器及制备，该硅微压电传声器由从上到下依次放置的电极、面内极化的铁电PZT膜层、氧化锆过渡层、振动膜层、高温二氧化硅圆形倒模层、体硅刻蚀方杯和体硅刻蚀掩模层组成；面内极化的铁电PZT膜层及电...
- 刘梦伟汪承灏李俊红
- 文献传递
