兰一兵
- 作品数：6 被引量：32H指数：3
- 供职机构：北京长城计量测试技术研究所更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程理学天文地球更多>>
- 用于二维线纹测量的二维动态光电显微镜
- 2015年
- 对二维线纹标准样板进行溯源测量时,需要对十字刻线进行高分辨力瞄准。利用二维动态光电显微镜,将二维样板十字刻线分别成像在相互垂直的两组狭缝上,狭缝宽度与刻线像的宽度基本一致,方向与刻线像平行,且在像空间上沿宽度方向错开约一个狭缝宽度的距离。当二维线纹样板沿某一方向运动时,对应方向被测刻线的像先后呈现在一组狭缝中,导致通过该组狭缝的光通量依次发生变化,对应的两个光电接收器的电信号存在相位差;信号处理系统根据两路电信号的相位关系,在信号交叉位置发出瞄准脉冲,锁定坐标测量系统,即得到该方向被测刻线的位置;分别对十字交叉刻线的两条刻线进行瞄准,即可得到对应交叉点的坐标。
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- 基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法研究被引量：5
- 2013年
- 介绍了一种基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法,通过将位移测量转化为频率变化量的测量,实现了亚纳米级测量分辨力。建立了基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量实验装置,完成了320 nm范围内的位移测量,并将测量结果与精密电容传感器的测量结果进行了比较。
- 段小艳任冬梅朱振宇李华丰兰一兵
- 关键词：微位移测量法布里-珀罗干涉仪
- 用于纳米级表面形貌测量的光学显微测头被引量：9
- 2022年
- 为了满足纳米级表面形貌样板的高精度非接触测量需求,研制了一种高分辨力光学显微测头。以激光全息单元为光源和信号拾取器件,利用差动光斑尺寸变化探测原理,建立了微位移测量系统,结合光学显微成像系统,形成了高分辨力光学显微测头。将该测头应用于纳米三维测量机,对台阶高度样板和一维线间隔样板进行了测量实验。结果表明:该光学显微测头结合纳米三维测量机可实现纳米级表面形貌样板的可溯源测量,具有扫描速度快、测量分辨力高、结构紧凑和非接触测量等优点,对解决纳米级表面形貌测量难题具有重要实用价值。
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- 空间坐标转换技术的分析与研究(一)被引量：17
- 1999年
- 系统分析了空间坐标转换的不同形式及其相互关系，运用旋转矩阵理论作了较为深入的探讨，指出了使用中应注意的问题。提出了齐次矩阵、微分运动、微分其子及雅可比矩阵等有用概念，作为例子，讨论了这些概念在机器人学中的应用。
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- 关键词：矩阵雅可比矩阵
- 可调姿态一维运动平台被引量：1
- 2015年
- 使用"大范围纳米测量机"进行扫描测量时,要求被测样品的空间姿态相对测量坐标系稳定,因此需要样品姿态小范围内动态可调。本文提供一种姿态可调的一维运动平台解决方案:利用四个压电陶瓷电机驱动空间上均布的四个丝杠,通过柔性连接器共同推动运动平台。压电陶瓷电机的协调运动可以实现运动平台的大范围升降运动及小范围姿态调整,其自保持能力可以减小驱动部件发热对纳米级测量的影响;四点过定位支撑利于简化控制模型,还可提高工作台的稳定性。
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- 一种用于线膨胀系数测量的高稳定性激光干涉系统被引量：3
- 2019年
- 介绍了一种可以对材料长度变化进行测量的高稳定性双光程激光干涉系统,由于该干涉系统的测量光路和参考光路具有相似的传播路径,光程差仅由被测试样的长度引起,干涉系统具有较强的抵抗环境温度变化和振动等外界干扰的能力。通过平晶反射膜测量试验,对干涉系统的稳定性进行了验证,结果表明在6.5 h内测量数据的标准偏差为4.2 nm。该激光干涉系统可用于材料尺寸变化(如线膨胀系数)的高准确度测量。
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- 关键词：激光干涉仪线膨胀系数高稳定性
