丁明清
- 作品数:71 被引量:99H指数:6
- 供职机构:中国电子科技集团公司第十二研究所更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划全球变化研究国家重大科学研究计划国防科技重点实验室基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学一般工业技术化学工程更多>>
- 一种准集成栅控碳纳米管/纳米线场发射阴极的制作方法
- 本发明公开了一种准集成栅控碳纳米管/纳米线场发射阴极的制作方法。该阴极包括阴极基底、场发射体、绝缘体和栅极,制作方法包括:以光刻刻蚀或激光打孔加工栅极,将栅极和阴极基底通过绝缘体隔离、并封装一体,而后在阴极基底上沉积缓冲...
- 李兴辉蔡军白国栋丁明清冯进军
- 文献传递
- 一种自对准栅极碳纳米管/纳米线场发射阴极制作方法
- 本发明公开一种自对准栅极碳纳米管/纳米线场发射阴极制作方法。该阴极包括阴极基底、场发射体、绝缘体和栅极。阴极的制作方法包括如下步骤:以光刻刻蚀工艺或激光打孔加工牺牲层/金属栅极,将栅极和阴极基底通过绝缘体隔离,并组装为一...
- 李兴辉蔡军白国栋丁明清冯进军
- 文献传递
- MPCVD生长B掺杂金刚石膜的二次电子发射研究(英文)被引量:1
- 2013年
- 研究了B掺杂金刚石膜的负电子亲和势(NEA)的行为。对于B_2H_6/CH_4为10 mg/L和2 mg/L的样品,一次电子能量为1 keV时最大二次电子发射系数(SEE)分别达到18.3和10.9。值得注意的是,这两个样品在测试前已在大气中搁置了几个星期,并且测量前未经过任何处理。如此高的SEE表明,样品在大气中暴露后NEA效应仍得到了保留。另外,10 mg/L B_2H_6/CH_4掺杂样品在酸溶液中处理后NEA消失,SEE较低,而在真空中加热后NEA明显恢复,SEE在1 kV时达到10.2。
- 丁明清李莉莉冯进军
- 关键词:负电子亲和势
- MPCVD金刚石膜沉积技术及金刚石膜材料在微波电真空器件中的应用
- 2014年
- 金刚石膜是一种集众多优异性能于一身的新材料,尤其是其热导率高、绝缘性能好以及微波介电损耗低等特点,使金刚石膜在微波电真空器件领域有着重要的应用前景。目前,以微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法制备高品质金刚石膜的技术已趋向成熟。本文将针对微波电真空器件这一应用背景,简要介绍国内外高品质金刚石膜MPCVD沉积技术的发展现状,进而对金刚石膜材料应用于微波电真空器件领域的一些典型实例进行简单的介绍。
- 唐伟忠丁明清李莉冯进军
- 关键词:金刚石膜
- 从石墨烯开关看电子在石墨烯中的奇异行为
- 2013年
- 与固态器件相比,真空电子器件的最大特点是电子在真空中的运动速率远大于在固体中的运动速率。然而,石墨烯的问世使这种现象发生了变化。现已发现,石墨烯中的电子不仅运动速率远高于传统半导体中的电子,而且存在各种奇特行为,使石墨烯的研究和应用备受关注。本文首先对普通晶体管材料和石墨烯中的电子行为进行比较,然后介绍石墨烯p-n结的特性和石墨烯逻辑开关的一些应用研究进展。
- 丁明清
- 关键词:石墨烯P-N结
- 单根定向碳纳米管阵列的结构设计与屏蔽效应的研究
- 本文介绍了单根定向碳纳米管阵列阴极的结构设计与屏蔽效应的模拟。模拟结果表明,对于固定高度h和直径的单根碳纳米管阵列阴极,当碳纳米管之间的间距d满足d≥2h时,电场屏蔽效应趋于最小。考虑到阵列阴极对封装密度的要求,设计CN...
- 陈长青丁明清冯进军白国栋张甫权李兴辉
- 关键词:电真空器件纳米材料碳纳米管
- 文献传递
- 微波等离子体化学气相沉积超纳米晶金刚石膜研究被引量:2
- 2014年
- 超纳米晶金刚石(UNCD)在短毫米波特别是太赫兹真空器件输能窗中具有潜在的应用价值。本文介绍了UNCD膜的制备工艺和性能表征。利用微波等离子体化学气相沉积法在一种贫氢、富氩的反应气体中合成UNCD膜。扫描电子显微镜分析表明,合成的UNCD膜表面光滑平整,晶粒为纳米尺度,断面结构致密。X射线衍射分析显示,超纳米晶金刚石薄膜主要是以(220)取向为主的多晶体结构,计算得到的平均晶粒尺寸为10nm。拉曼光谱分析呈现出典型的超纳米晶金刚石特性,膜中存在一定的sp2相。UNCD的光学透过率测试显示:在波长≥4μm范围内,光学透过率≥60%。
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- 关键词:太赫兹微波等离子体化学气相沉积
- 一种短毫米波行波管用金刚石输能窗及其制造方法
- 一种短毫米波行波管用的金刚石输能窗,属于真空电子技术领域,包括输能窗片、连接波导和封接窗架,该金刚石输能窗的上下两部分是对称放置并与波导相连接的封接窗架,它们的中部密封地紧夹金刚石窗片。根据以上所表述金刚石输能窗的制造方...
- 丁明清杜英华李莉莉冯进军胡银富蔡军
- 文献传递
- MPCVD金刚石的研制及其应用研究
- 本文介绍微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石的研制及其应用研究。讨论了影响RF级金刚石膜生长的各种参数及其选择原则,给出了金刚石膜的表征方法和结果。最后介绍了金刚石在短毫米波TWT中初步应用进展。
- 丁明清李莉莉杜英华陈波李力董芮彤冯进军胡银富蔡军
- 关键词:内应力夹持杆
- 文献传递
- 集成栅极控制的碳纳米管场发射阵列阴极的制造技术
- 本文重点介绍一种带集成栅极的碳纳米管场发射阴极(CNT FEA)的制造工艺.研制了两种类型的栅控CNT FEA.一种是在微孔的底部生长CNT,另一种则是在孔底部预先沉积的M尖上制备CNT发射体.前者的CNT发射体由多根C...
- 丁明清李兴辉白国栋张甫权李含雁冯进军
- 关键词:碳纳米管
- 文献传递