马文平
- 作品数：4 被引量：14H指数：2
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
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- 相关领域：一般工业技术电子电信更多>>
- 泰伯效应对激光并行共焦显微系统成像影响的研究被引量：11
- 2009年
- 激光并行共焦显微系统采用微透镜阵列作为分光器件,将会不可避免地引入泰伯效应,造成沿光轴方向的多次成像。形成的这些像面中有且只有一个是正焦像面,它不仅没有边缘效应、能量更加集中,而且可以有效提高系统的测量分辨率。如何寻找正焦像面是削弱泰伯效应对测量影响的关键。实验中发现,通过增大微透镜阵列光栅常数可以增大泰伯距离,从而减弱离焦像面对测量的影响;并且设计了一种识别正、离焦像面的方法,能够准确找到正焦像面,保证了系统的测量分辨率。
- 余卿余晓芬程伶俐马文平
- 关键词：泰伯效应微透镜阵列
- 基于磁流变阻尼固紧器的工作台定位研究被引量：1
- 2010年
- 基于磁流变液制作的X向、Y向磁流变阻尼固紧器,采用新颖的横向卧式结构,解决了传统纵向立式阻尼固紧器磁流变液溢出密封和摩擦初始阻尼力较大的问题。该固紧器具有柔性阻尼和无冲击固紧工作台的双重功能,减弱了传统固紧方法带来的冲击和直线电机驱动引起的振动,并成功应用于纳米三坐标测量机,使工作台在X向、Y向的分辨率达到5nm,定位稳态波动从原来的20nm减小到5nm。
- 余晓芬马文平程伶俐
- 关键词：磁流变液纳米三坐标测量机
- 用于微纳米测量的磁流变阻尼固紧系统被引量：2
- 2010年
- 研究用新型功能材料—磁流变液制作阻尼固紧器,具有减小电机振动和实现微冲击固紧工作台的双重功能.通过有限元分析对其磁路进行了仿真,并用往复运动实验系统对其性能进行了标定.在纳米三坐标测量机上进行的纳米定位实验表明,加上磁流变阻尼固紧器后,工作台定位稳态波动从20 nm减小到5 nm以内,可实现纳米三坐标测量机纳米级定位稳态波动.
- 马文平余晓芬程伶俐余卿
- 关键词：磁流变液纳米三坐标测量机
- 基于磁流变液的无冲击阻尼固紧系统
- 本学位论文选题来源于国家自然科学基金项目—基于并行像散共焦探测原理的微结构三维形貌测量基础研究(批准号：50775063)。应用于微型器件三维形貌测量的纳米三坐标测量机要求工作台具有纳米级的定位精度，传统固紧方法带来的冲...
- 马文平
- 关键词：磁流变液
- 文献传递
