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陈莉

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学技术大学工程科学学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇汽相沉积
  • 1篇热丝
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇化学汽相沉积
  • 1篇CVD金刚石...

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇戚学贵
  • 1篇陈莉
  • 1篇陈则韶

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
CVD金刚石膜制备方法及其应用被引量：5
2001年
介绍了金刚石膜的应用和低压下化学汽相沉积金刚石膜的主要方法及其最新进展，并对各种方法的优缺点作了简要评述。
戚学贵陈则韶陈莉
关键词：金刚石膜化学汽相沉积热丝等离子体
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共1页<1>
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