陈莉
- 作品数：27 被引量：25H指数：3
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>
- MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较被引量：3
- 2015年
- 精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm^100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测量范围、分辨率和对样品的适用性,分析了薄膜厚度测量过程中误差产生的机理。实验结果表明:当存在膜层台阶时,10 nm^100μm的膜厚测量均可采用接触式表面轮廓仪,对于硬度较高的膜层可采用电感测微仪,对于厚度小于0.5μm的膜层可采用原子力显微镜;对于可观察样品侧面、厚度大于0.7μm的膜层可采用扫描电镜,工具显微镜适用于μm级膜层,对于厚度大于20μm的膜层不宜采用光谱椭偏仪。
- 陈莉尹鹏和
- 关键词：薄膜厚度
- 间质流速可控的神经信号检测微纳电极阵列微流控芯片
- 本发明提出了间质流速可控的神经信号检测微纳电极阵列微流控芯片，属于生物传感器领域，该芯片由微流控盖片和微纳电极阵列底片组成。微流控盖片可为细胞提供近体的动态间质流动微环境，神经细胞被培养于由微柱阵列围成的细胞培养腔中，其...
- 李经民刘冲尹树庆王彦圣陈莉金承汉
- 聚合物微结构热辅助超声波压印成形被引量：3
- 2014年
- 提出了基于硅模具的热辅助超声波压印成形方法,用于高效率、高精度地复制热塑性聚合物微结构。该方法利用作用于聚合物基片与模具间的超声波振动,快速升高界面温度,以达到聚合物的成形温度。为了降低破坏模具的风险,将模具预热到低于玻璃点转化温度(Tg)以下35℃至50℃之后再施加超声波进行成形。最后,通过正交实验研究了超声振幅、超声波压力、超声波时间、热辅助温度以及聚合物基片厚度对压印结果的影响,揭示了超声波压印工艺的成形机理。实验结果表明,热辅助温度对压印影响最大,其次为超声波振幅,而超声波压力是影响复制均匀性的最重要的参数;薄的聚合物基片在同样的超声波参数和模具结构下更容易成形。通过优化参数,对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片的深度复制精度达到了99%,复制周期小于50s。研究表明,热辅助超声波压印成形效率高,是一种具有批量制造潜力的聚合物微结构成形方法。
- 罗怡闫旭陈莉王晓东
- 关键词：正交实验
- 一种基于激光测量补偿的高精度研磨机及使用方法
- 本发明公开了一种基于激光测量补偿的高精度研磨机及使用方法，该研磨机的激光器和四象限光电探测器对称分布于悬臂两侧，激光器发射的激光照射在样品表面，经由样品反射进入四象限光电探测器，产生电信号(电压或电流)输出，可精确测量出...
- 陈莉李经民刘冲尹鹏和高涛
- 模块式扫描探针显微镜用探针架
- 本发明公开了一种模块式扫描探针显微镜用探针架，包括支架，在支架上有线路板和安装探针的夹持架，所述的线路板与支架之间为插槽式连接，所述的夹持架与支架之间为分体式并夹持架插入支架内，夹持架与支架形成镶嵌结构。本发明的模块式扫...
- 陈莉李克洪刘军山刘冲
- 文献传递
- 基于用户兴趣的分布式协同过滤推荐
- 随着P2P网络的广泛应用以及共享信息的增多，P2P网络不仅提供了巨大的信息资源，而且提供了一个便利的信息交流和共享平台，但是巨大的信息量增加了P2P网络中的节点获得有价值信息的难度。如何充分利用P2P这一信息交流平台是摆...
- 陈莉
- 关键词：P2P网络协同过滤信息推荐兴趣域
- 文献传递
- 微收缩-扩张管道对电泳分离区带展宽的影响
- 2005年
- 分离通道的形状误差是影响毛细管电泳分离效果的重要因素,它使得样品区带展宽,导致检测时峰高减小,半峰宽增大,进而使分离柱效下降,分辨率降低.建立了模拟微管道形状误差的锥形收缩-扩张管道模型,进行了电泳分离过程的数值模拟,通过比较不同收缩角情况下样品分离的峰高和半峰宽值,得出了收缩管道对分离区带展宽的影响,并从流动机理上分析了产生这种影响的原因,为毛细管电泳芯片的设计优化提供了数据参考.
- 陈莉刘冲王颂徐征
- 关键词：毛细管电泳
- A市基层税务干部职务犯罪防范机制研究
- 防范职务犯罪已经成为我国税务系统的一项战略性工程。本篇论文首先介绍了职务犯罪的基本理论，通过对国内外预防职务犯罪工作的历史发展，阐释了防范职务犯罪的重要作用。通过对中外专家学者的理论研究分析，对产生职务犯罪的原因、职务犯...
- 陈莉
- 关键词：基层税务干部职务犯罪
- 文献传递
- 微型燃料电池流场参数影响研究
- 随着自然资源的日益缺乏和人们环保意识的提高，燃料电池作为一种绿色能源受到越来越多的青睐，它具有高能量比、模块化、方便持久和环境友好等优点，可同时解决节能和环保两大难题。以甲醇为燃料的直接甲醇型燃料(DMFC)电池是单兵电...
- 陈莉
- 关键词：直接甲醇燃料电池计算流体力学绿色能源环保能源
- 文献传递
- 可实现样品变温的接触式表面轮廓仪
- 可实现样品变温的接触式表面轮廓仪，在支撑座上设有样品台；样品台与支撑座之间有驱动样品台在平行于支撑座方向上移动的平移驱动机构；在样品台上方设有通过支架支撑的探针架，探针设在探针架上，探针架上设有驱动探针在垂直于样品台方向...
- 陈莉李克洪刘军山刘冲
