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陈立峰

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学电气工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇压印光刻
  • 1篇粘度
  • 1篇光刻

机构

  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇陈立峰
  • 1篇卢秉恒

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
压印光刻中紫外光诱导阻蚀胶固化控制计算被引量：2
2007年
针对压印过程中两类基本的复型缺陷,从实验分析中得出其主要原因是曝光后阻蚀胶的固化程度难以控制.通过分析紫外曝光光源与阻蚀胶的光谱匹配性,得出使得阻蚀胶固化的有效波长为365 nm;对光诱导紫外曝光过程中紫外光的传播分析,建立了阻蚀胶中光强分布的数学模型;用粘度来表征阻蚀胶的固化程度,建立了阻蚀胶中的粘度分布函数.分析了阻蚀胶对365 nm紫外光的吸收率以及膜厚对阻蚀胶中光强分布均匀性的影响,得出复型后阻蚀胶凸起处的光强分布均匀性对吸收率及膜厚更为敏感的结论.
陈立峰卢秉恒
关键词：压印光刻粘度
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共1页<1>
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