陈星
- 作品数：108 被引量：16H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院“百人计划”国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>
- 一种MOCVD组合喷淋头及MOCVD设备
- 本发明公开了一种MOCVD组合喷淋头，包括固定轨道及多个单一反应源喷淋头；所述固定轨道用于固定多个所述单一反应源喷淋头；所述单一反应源喷淋头包括机动组件、扩散腔、输气管及喷嘴阵列；反应气体通过所述输气管进入所述扩散腔，并...
- 刘可为陈星申德振杨佳霖
- 文献传递
- 一种利用分子束外延技术制备P型氧化锌薄膜的方法
- 本发明提供一种利用分子束外延技术制备P型氧化锌薄膜的方法，属于薄膜制备技术领域。该方法的是将金属锌加热蒸发成气态，氧气通过射频等离子体原子源裂解成活性原子与分子混合状态，掺杂所用方法与氧气相同，锌原子束、氧气活性原子与分...
- 李炳辉申德振谢修华张振中刘可为陈星刘雷李衍爽
- Au电极厚度对MgZnO紫外探测器性能的影响被引量：4
- 2015年
- 利用分子束外延设备(MBE)制备了MgZnO薄膜。X射线衍射谱、紫外-可见透射光谱和X射线能谱表明薄膜具有单一六角相结构,吸收边为340 nm,Zn/Mg组分比为62∶38。采用掩膜方法使用离子溅射设备,在MgZnO薄膜上制备了Au电极,并实现了Au-MgZnO-Au结构的紫外探测器。通过改变溅射时间,得到具有不同Au电极厚度的MgZnO紫外探测器。研究结果表明:随着Au电极厚度的增加,导电性先缓慢增加,再迅速增加,最后缓慢增加并趋于饱和;而Au电极的透光率则随厚度的增加呈线性下降。此外,随着Au电极厚度的增加,器件光响应度先逐渐增大,在Au电极厚度为28 nm时达到峰值,之后逐渐减小。
- 孙华山刘可为陈洪宇范明明陈星李炳辉申德振
- 关键词：MGZNO紫外探测器AU电极厚度
- 氧化镓微米线制备方法、日盲紫外探测器及其制备方法
- 本发明提供一种氧化镓微米线制备方法、日盲紫外探测器及其制备方法，其中的氧化镓微米线制备方法包括以下步骤：S1、将β‑Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>粉末与碳粉末按照预设比例混合研磨后得到混合原料粉末...
- 陈星周畅申德振刘可为郑智遥
- 一种紫外探测器及其制备方法
- 本发明提供了一种紫外探测器，包括：衬底；设置在所述衬底表面的ZnO薄膜，所述ZnO薄膜表面分布有Ag颗粒；设置在所述ZnO薄膜表面的两个电极。与现有技术相比，本发明提供的紫外光电探测器含有Ag颗粒修饰的ZnO薄膜，利用A...
- 刘可为王潇陈星李炳辉张振中申德振
- 一种宽禁带氧化物紫外探测器及其制备方法
- 本发明涉及紫外探测器技术领域，特别涉及一种宽禁带氧化物紫外探测器及其制备方法。紫外探测器包括依次叠加设置的衬底、第一Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>层、ZnMgO层、第二Ga<Sub>2</Sub>...
- 陈星刘可为申德振
- 一种Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>紫外探测器及其制备方法
- 本发明提供了一种Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>紫外探测器，包括依次叠加设置的衬底、Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>薄膜和金属叉指电极，所述Ga<Sub>2</Sub>O<Su...
- 陈星刘可为申德振李炳辉张振中
- 文献传递
- 一种Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>薄膜及其制备方法
- 本发明提供了一种Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>薄膜的制备方法，包括以下步骤：以有机镓化合物作为镓源，以高纯氧气作为氧源，利用金属有机化学气相沉积法在衬底表面进行沉积，降温后得到Ga<Sub>2</...
- 陈星刘可为申德振张振中李炳辉
- 一种氧化锌紫外探测器的封装方法及封装结构
- 本申请提供一种氧化锌紫外探测器的封装方法及封装结构，通过将氧化锌紫外探测器芯片固定在底座上，再由金属丝将叉指电极引出作为氧化锌紫外探测器封装结构的针脚，然后通过可透过紫外线的封装胶对氧化锌紫外探测器芯片、裸露的金属丝以及...
- 陈星刘可为李炳辉张振中申德振
- 一种ZnGaO紫外探测器及其制备方法
- 本发明提供了一种ZnGaO紫外探测器，包括依次复合而成的衬底、锌镓氧材料薄膜、金属叉指电极和铟电极；所述锌镓氧材料薄膜中锌与镓的原子比大于1:2，所述锌镓氧材料薄膜为尖晶石结构。本发明提供的ZnGaO紫外探测器所使用的Z...
- 陈星刘可为申德振张振中李炳辉
- 文献传递
