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郭剑
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14
被引量:3
H指数:1
供职机构:
北京大学
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国家科技重大专项
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
理学
电气工程
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合作作者
傅云义
北京大学微电子学研究院
黄如
北京大学微电子学研究院
任黎明
北京大学微电子学研究院
魏子钧
北京大学微电子学研究院
张兴
北京大学
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机构
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北京大学
作者
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郭剑
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傅云义
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黄如
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魏子钧
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任黎明
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张兴
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赵华波
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周梦杰
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一种探测二维纳米结构材料薄膜表面缺陷的方法
本发明公开了一种用于二维纳米结构材料薄膜表面的缺陷分布的探测方法,涉及材料表面缺陷及其分布检测领域。该方法首先将样品进行预先烘干,将样品表面的水分子清除掉,通过水蒸气喷射装置将水蒸气和其他气体的混合气体流通过样品表面,进...
郭剑
魏芹芹
魏子钧
赵华波
傅云义
黄如
张兴
文献传递
一种探测二维纳米结构材料薄膜表面缺陷的方法
本发明公开了一种用于二维纳米结构材料薄膜表面的缺陷分布的探测方法,涉及材料表面缺陷及其分布检测领域。该方法首先将样品进行预先烘干,将样品表面的水分子清除掉,通过水蒸气喷射装置将水蒸气和其他气体的混合气体流通过样品表面,进...
郭剑
魏芹芹
魏子钧
赵华波
傅云义
黄如
张兴
一种碳纳米复合材料的制备方法
本发明公开了一种碳纳米复合材料的制备方法,属于纳米材料的研制领域。该方法利用CVD方法制备单层或多层石墨烯;然后将石墨烯转移到目标衬底上;在石墨烯与目标衬底的结构上面涂覆光刻胶,用电感耦合等离子体方法轰击,使光刻胶变性,...
胡保东
周梦杰
李晨
赵华波
魏子钧
郭剑
张亮
任黎明
傅云义
黄如
张兴
文献传递
一种耐腐蚀电极及其制备方法和应用
本发明公开了一种耐腐蚀石墨烯电极及其制备方法和应用,属于电子器件领域。该耐腐蚀石墨烯电极是利用化学气相沉积法在铜或镍等金属电极的表面覆盖石墨烯层,形成石墨烯-金属复合结构作为电极。由于石墨烯具有良好的结构特、电学和热学特...
李晨
赵华波
胡保东
周梦杰
魏子钧
郭剑
张亮
任黎明
傅云义
黄如
张兴
文献传递
在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用
本发明公开了一种在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用,属于集成电路技术领域,该方法首先选取表面平整、无缺陷或少缺陷的石墨烯材料作为淀积高k介质的基底样品;将基底样品放入扫描电子显微镜的真空腔室,抽真空至5E‑4至1E...
叶青
傅云义
郭剑
贾越辉
魏子钧
张亮
任黎明
黄如
张兴
文献传递
一种石墨烯纳米孔洞的制备方法
本发明公开了一种石墨烯纳米孔洞的制备方法,属于薄膜材料微纳加工领域领域。该方法采用化学气象沉积法(CVD)在金属铜薄膜上制备石墨烯,利用石墨烯表面本征的缺陷结构制备石墨烯纳米孔洞,其孔径大小可为几纳米至数百纳米。该石墨烯...
李晨
郭剑
周梦杰
胡保东
赵华波
魏子钧
任黎明
傅云义
黄如
张兴
文献传递
石墨烯的合成及其缺陷表征
本论文包含了两部分工作,一是探索了一种在绝缘衬底上直接生长超净石墨烯的方法。CVD方法生长石墨烯后,持续的升温融化、蒸发铜箔,石墨烯与铜箔分离,并直接转移至绝缘衬底上。成功获得直径数十单个晶畴石墨烯和毫米级连续的石墨烯薄...
郭剑
关键词:
石墨烯
绝缘衬底
拉曼光谱
一种碳纳米复合材料的制备方法
本发明公开了一种碳纳米复合材料的制备方法,属于纳米材料的研制领域。该方法利用CVD方法制备单层或多层石墨烯;然后将石墨烯转移到目标衬底上;在石墨烯与目标衬底的结构上面涂覆光刻胶,用电感耦合等离子体方法轰击,使光刻胶变性,...
胡保东
周梦杰
李晨
赵华波
魏子钧
郭剑
张亮
任黎明
傅云义
黄如
张兴
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在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用
本发明公开了一种在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用,属于集成电路技术领域,该方法首先选取表面平整、无缺陷或少缺陷的石墨烯材料作为淀积高k介质的基底样品;将基底样品放入扫描电子显微镜的真空腔室,抽真空至5E-4至1E...
叶青
傅云义
郭剑
贾越辉
魏子钧
张亮
任黎明
黄如
张兴
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一种石墨烯纳米孔洞的制备方法
本发明公开了一种石墨烯纳米孔洞的制备方法,属于薄膜材料微纳加工领域领域。该方法采用化学气象沉积法(CVD)在金属铜薄膜上制备石墨烯,利用石墨烯表面本征的缺陷结构制备石墨烯纳米孔洞,其孔径大小可为几纳米至数百纳米。该石墨烯...
李晨
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