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赵相晖
作品数:
5
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供职机构:
上海交通大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
李昊东
上海交通大学
吴卓琦
上海交通大学
代贵松
上海交通大学
朱利民
上海交通大学
赵龙
上海交通大学
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机构
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上海交通大学
作者
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赵相晖
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吴卓琦
3篇
李昊东
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李雪松
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赖磊捷
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赵龙
1篇
朱利民
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代贵松
传媒
1篇
机电一体化
年份
2篇
2014
1篇
2013
2篇
2012
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伸缩式管内容积变化装置
一种内燃机技术领域的伸缩式管内容积变化装置,包括:进气管、压气机、发动机、排气管、涡轮、容积腔、连接管、移动体、移动板和弹簧,移动体的一端伸入第一连接管内,移动体的另一端与移动板的左壁面固接为一体,移动板的左壁面通过弹簧...
李昊东
吴卓琦
赵相晖
代贵松
文献传递
基于LabVIEW的微纳加工系统设计与研究
2014年
根据约束刻蚀加工工艺原理要求,开发了基于LabVIEW软件的微纳米加工系统。系统主要由宏动定位平台、微动定位平台、微力传感器、电化学工作站以及控制系统组成。系统通过数据采集卡和运动控制卡来实现仪器的定位与运动控制,对接触检测和主动恒力控制等关键技术进行了重点研究,使用LabVIEW编写了运动控制软件,最后在此系统上开展了光学微透镜阵列的电化学湿印章刻蚀加工试验。实验结果表明该工艺成功地把模板上的微透镜阵列图案复制到了硅基底上,具有较高的复制精度。
赵相晖
赖磊捷
朱利民
关键词:
LABVIEW
微透镜阵列的约束电化学刻蚀加工技术与系统
随着现代科技的快速发展,微纳米技术产品诸如微电子、微机电系统(MEMS)等,逐渐在生产和生活中发挥重要的作用。它们的共同特点是结构或功能尺寸均在微米或纳米尺寸范围内,所以对它们的加工方法有别于普通的机械加工方式,称之为微...
赵相晖
关键词:
微透镜阵列
微纳米加工
约束刻蚀剂层技术
LABVIEW
文献传递
管内移动体前后移动式机械装置
一种内燃机技术领域的管内移动体前后移动式机械装置,包括:进气管、压气机、发动机、排气管、涡轮、容积腔、连接管、移动体、移动板和弹簧,移动体的一端伸入第一连接管内,移动体的另一端与移动板的左壁面固接为一体,移动板的右壁面通...
李昊东
吴卓琦
赵相晖
赵龙
文献传递
三连接管式机械伸缩装置
一种内燃机技术领域的三连接管式机械伸缩装置,包括:进气管、压气机、发动机、排气管、涡轮、容积腔、连接管、移动体、移动板和弹簧,移动体的一端伸入第一连接管内,移动体的另一端与移动板的左壁面固接为一体,移动板的右壁面通过弹簧...
李昊东
吴卓琦
赵相晖
李雪松
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