贾振宇
- 作品数：9 被引量：5H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信理学电气工程更多>>
- SMR-FBAR布拉格反射栅复合薄膜结构的制备及器件热性能研究
- 伴随通信技术的发展,人们通信技术要求的逐渐提高,为了获得更加舒适的生活和更加便利的通信方式,需要使得通信滤波器有较小的尺寸,更高的运行速度,更大的带宽和更为经济的使用成本,体声波谐振器作为一种全新的滤波器形式件是满足人们...
- 贾振宇
- 关键词：有限元方法体声波谐振器热性能
- 文献传递
- 反应磁控溅射制备氮化钽扩散阻挡层的研究
- 采用反应磁控溅射在硅衬底上制备了TaN薄膜，研究了氮分压、溅射功率及衬底温度对薄膜晶体结构、表面形貌和电学性能的影响。结果表明，晶体结构随工艺参数的改变发生变化，GIXRD图谱衍射峰强度随溅射功率和衬底温度的增加而增强，...
- 贾振宇朱嘉琦曹世成
- 关键词：集成电路反应磁控溅射扩散阻挡层工艺参数表面形貌
- 文献传递
- 反应磁控溅射制备氮化钽扩散阻挡层的研究被引量：5
- 2012年
- 采用反应磁控溅射在硅衬底上制备了TaN薄膜,研究了氮分压、溅射功率及衬底温度对薄膜晶体结构、表面形貌和电学性能的影响。结果表明,晶体结构随工艺参数的改变发生变化,GIXRD图谱衍射峰强度随溅射功率和衬底温度的增加而增强,氮气分压的增加使择优取向向(111)晶面偏移;TaN薄膜的表面形貌与溅射功率和氮气分压密切相关,与衬底温度的关系不大,其粗糙度随溅射功率的增加而增大,随氮气分压的增加而减小;TaN薄膜的方块电阻随溅射功率的增加逐渐减小,随氮气分压的增加逐渐增大,温度对方块电阻的影响不大;对Cu/TaN/Si互联体系热处理后发现TaN薄膜具有优异的阻挡性能,在600℃时依然可有效阻止Cu向Si的扩散。
- 贾振宇朱嘉琦曹世成
- 关键词：反应磁控溅射扩散阻挡层
- 本征层为碳锗薄膜的太阳能电池的制备方法
- 本征层为碳锗薄膜的太阳能电池的制备方法，涉及一种太阳能电池及其制备方法。本发明要解决现有以非晶硅材料为本征层存在带隙较宽、吸收系数偏小的问题。太阳能电池包括透明衬底(1)、透明导电薄膜(2)、P型窗口层(3)、本征层(4...
- 朱嘉琦姜春竹贾振宇张雯婷韩杰才
- 文献传递
- 溅射功率对碳化锗薄膜化学键的影响研究
- 本文用磁控共溅射方法制备了无氢非晶碳化锗薄膜。用拉曼光谱(Kaman)、傅里叶变换红外透射光谱( FTIR)和X射线光电子谱(XPS)等方法研究了锗功率对碳化锗薄膜的结构和化学键性质的影响。为了深入理解锗功率对磁控共溅射...
- 朱嘉琦姜春竹贾振宇
- 关键词：化学键性质溅射功率
- 文献传递
- 耐久高反射膜的制备方法
- 耐久高反射膜的制备方法，它属于反射膜的制备领域。本发明要解决现有金属铝膜易与硫化锌发生反应的技术问题。方法：一、清洗硫化锌衬底；二、然后将硫化锌衬底置于磁控溅射真空仓内的样品台上，抽真空；三、反溅清洗；四、对铝靶预溅射，...
- 朱嘉琦张小朋贾振宇韩杰才杜善义
- 文献传递
- 本征层为碳锗薄膜的太阳能电池及其制备方法
- 本征层为碳锗薄膜的太阳能电池及其制备方法，涉及一种太阳能电池及其制备方法。本发明要解决现有以非晶硅材料为本征层存在带隙较宽、吸收系数偏小的问题。太阳能电池包括透明衬底(1)、透明导电薄膜(2)、P型窗口层(3)、本征层(...
- 朱嘉琦姜春竹贾振宇张雯婷韩杰才
- 耐久高反射膜的制备方法
- 耐久高反射膜的制备方法，它属于反射膜的制备领域。本发明要解决现有金属铝膜易与硫化锌发生反应的技术问题。方法：一、清洗硫化锌衬底；二、然后将硫化锌衬底置于磁控溅射真空仓内的样品台上，抽真空；三、反溅清洗；四、对铝靶预溅射，...
- 朱嘉琦张小朋贾振宇韩杰才杜善义
- 溅射功率对碳化锗薄膜化学键的影响研究
- 为了深入理解锗功率对磁控共溅射制备的无氢非晶碳化锗薄膜的化学键性质的影响。利用拉曼光谱(Raman)、傅里叶变换红外透射光谱(FTIR)和X射线光电子谱(XPS)对碳化锗薄膜的结构及化学键进行了分析。FTIR结果显示在6...
- 朱嘉琦姜春竹贾振宇
- 关键词：化学键XPSRAMANFTIR
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