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董敬涛
作品数:
35
被引量:64
H指数:4
供职机构:
合肥工业大学
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卢荣胜
合肥工业大学仪器科学与光电工程...
夏瑞雪
合肥工业大学仪器科学与光电工程...
张腾达
合肥工业大学仪器科学与光电工程...
舒双宝
合肥工业大学
杨蕾
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1篇
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2010
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一种多波长面阵CCD高温计的标定和噪声分析方法
本发明公开了一种多波长面阵CCD高温计的标定和噪声分析方法,构建测温标定模型,得出CCD相机每个通道R、G、B需要标定的参数;求解标定模型的未知参数,分析标定误差;构建噪声分析模型,求出噪声分析模型中CCD相机每个通道R...
张育中
邓涛
杨宇鑫
董敬涛
舒双宝
张腾达
Linnik偏振白光干涉微纳测量的关键技术研究
2014年
随着机械、电子、光学、材料和半导体等工业不断微型化、精密化的需求,开发的微纳米结构的三维形貌、表面膜厚、内部结构以及物理性质等特性对微纳米结构的研发和生产质量控制至关重要。因此,针对微纳米制造领域的三维非接触式测量系统及其技术的研究具有重要的学术价值和现实意义。
董敬涛
卢荣胜
关键词:
白光干涉
微纳米结构
偏振
三维形貌
物理性质
一种提高LIBS定量检测精度并减小自吸收影响的装置及方法
本发明公开了一种提高LIBS定量检测精度并减小自吸收影响的装置及方法,计算机控制飞秒激光器工作,脉冲激光经反射镜和聚焦透镜后聚焦于待测标准样品表面,在样品表面形成高能量密度的聚焦光斑,聚焦光斑与样品表面产生互作用形成等离...
杨蕾
李银川
向勇
鲍文逸
董敬涛
张育中
张腾达
陈晶晶
卢荣胜
基于色散线扫共聚焦背散射的晶体内部缺陷检测方法
本发明公开了一种基于色散线扫共聚焦背散射的晶体内部缺陷检测方法,点光源发射可见光经聚焦、小孔滤光和准直入射到分光棱镜,分光棱镜将准直的可见光束反射到线阵扫描器件,线阵扫描器件将入射的准直可见光束扫描成周期性扇形可见光束,...
董敬涛
程莹钧
王硕
常凯
赵恩曦
一种基于啁啾光纤光栅的光谱共焦位移传感器
本发明公开了一种基于啁啾光纤光栅的光谱共焦位移传感器,是在光谱共焦位移传感器测量系统中对称设置第一啁啾光纤光栅和第二啁啾光纤光栅,光源发出的光信号经第一啁啾光纤光栅反射获得色散特性,具有色散特性的光信号经三端口环形器、针...
钟翔
桂栋梁
董敬涛
邓华夏
张进
马孟超
文献传递
基于几何移相器的双波长正交相位偏置锁定干涉测量方法
本发明公开了一种基于几何移相器的双波长正交相位偏置锁定干涉测量方法,是将波长分别为λ<Sub>1</Sub>和λ<Sub>2</Sub>的两束光以线偏振态入射至正交相位偏置的分振幅型干涉仪的光路中,以波长为λ<Sub>1...
董敬涛
田志彭
常凯
用于数控机床在位测量的非接触三维光学测头
本实用新型公开了一种用于数控机床在位测量的非接触三维光学测头,其特征是由影像测量系统和聚焦定位系统构成非接触三维光学测头;首先采用像散法对影像测量系统进行聚焦判断,确定测量平面,同时实现非接触三维光学测头的Z轴方向定位,...
卢荣胜
夏瑞雪
董敬涛
李楠楠
文献传递
高速线扫描激光暗场散射晶圆表面缺陷检测装置及其方法
本发明公开了高速线扫描激光暗场散射晶圆表面缺陷检测装置及其方法,激光器发出的一束光改变其偏振态后入射到线阵扫描器件上,线阵扫描器件将准直入射光转变成线光束;聚焦镜头将线光束聚焦到晶圆表面上并将线光束转变为扫描激光束,聚焦...
董敬涛
常凯
田志彭
二维和三维一体化成像测量系统
本发明公开了一种二维和三维一体化成像测量系统,其特征是由像散自动对焦单元、光源单元、Linnik干涉单元和图像接收单元构成。本发明以固定的系统架构,集成了多种先进的成像技术,可以高效的应对各种精密测量的要求,主要运用于微...
卢荣胜
董敬涛
史艳琼
夏瑞雪
陈琳
文献传递
基于频域分析的光学相干显微镜中的色散补偿
被引量:4
2012年
提出基于频域分析的色散补偿方法,对光学相干显微镜的干涉信号进行快速傅里叶变换,得到频率幅值极大值对应的平均波数,将提取的解包裹后的相位以平均波数为中心做多项式拟合,得到二阶色散系数。实验中,通过在参考臂中插入不同厚度的色散介质来引入两个干涉臂色散介质的光程差,并求得相应的二阶色散系数。通过最小二乘线性拟合,证实了二阶色散系数和色散介质的相对厚度具有很好的线性关系。根据该线性关系,可以在参考臂中插入适当厚度的色散介质来完全补偿干涉系统的二阶色散。
董敬涛
卢荣胜
关键词:
色散补偿
频域分析
快速傅里叶变换
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