程文娟
- 作品数：6 被引量：36H指数：4
- 供职机构：清华大学更多>>
- 相关领域：理学电子电信化学工程更多>>
- 微波等离子体化学气相沉积制备碳氮晶体薄膜被引量：4
- 2004年
- 利用微波等离子体化学气相沉积系统 ,以甲烷、氮气和氢气作为气源 ,在Si( 1 0 0 )衬底上成功地制备出了碳氮晶体薄膜 ,并对两种衬底温度下的薄膜性质进行了比较。用高分辨率场发射扫描电子显微镜观察薄膜 ,可以看出晶型完整 ,结构致密 ,结晶质量较好。X射线能谱证明了碳氮是以C─N和CN共价键的形式存在 ,氮碳元素的原子比均为 1 .3。X射线衍射确定出在衬底温度为 90 0± 1 0℃时薄膜样品的主要晶相成份是α C3N4,β C3N4,赝立方C3N4,立方C3N4和一个未知相 (面间距d =0 .4 0 0 2nm) ,而在 95 0± 1 0℃时薄膜样品的主要晶相成份是α C3N4,β C3N4,赝立方C3N4,类石墨C3N4和一个未知相 (面间距d =0 .3 984nm)。喇曼光谱分析也证实了薄膜中主要存在α C3N4,β
- 江锦春程文娟张阳朱鹤孙沈德忠
- 关键词：晶体薄膜衬底温度微波等离子体化学气相沉积喇曼光谱晶相
- 高质量金刚石膜在无氧铜衬底上的MPCVD被引量：6
- 2003年
- 本文采用高纯无氧铜 (Cu)片作为基片 ,用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统 ,制备出了高质量多晶金刚石膜。用场发射扫描电子显微镜 (SEM)、Raman散射谱和X射线衍射谱 (XRD)对制备的金刚石膜进行了表征与分析 ,其结果证明金刚石膜具有较优的质量。
- 常开朋程文娟江锦春张阳朱鹤孙沈德忠
- 关键词：金刚石膜无氧铜衬底MPCVD微波等离子体化学气相沉积
- 金刚石膜在Si(100)衬底上的选择沉积被引量：2
- 2003年
- 采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在sj(100)衬底上金刚石膜的选择沉积。用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析。并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了比较。结果发现,采用模板后,金刚石膜的成核密度和质量都得到很大提高。
- 常开朋程文娟江锦春张阳朱鹤孙沈德忠
- 关键词：金刚石膜SI(100)硅衬底微波等离子体化学气相沉积铜网
- SiCN薄膜在Si衬底上的沉积被引量：2
- 2004年
- 本文采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)系统 ,在单晶Si衬底上制备出了SiCN薄膜。所采用的源气体为高纯CH4和N2 ,而Si源来自于Si衬底、SiH4和Si棒。用场发射扫描电镜 (SEM)、X射线光电子能谱 (XPS)和X射线衍射谱 (XRD)对样品进行了表征与分析。结果表明 ,外加Si源、高的衬底温度、高流量N2 有助于提高样品的成膜质量。
- 程文娟张阳江锦春朱鹤孙
- 关键词：SI衬底X射线衍射谱三元化合物MPCVD微波等离子体化学气相沉积
- 微波水热条件对氧化锌晶体的形态和粒度的影响被引量：19
- 2005年
- 利用微波水热法,以氢氧化锌为前驱物,在反应温度不小于100℃的情况下,成功地制备出氧化锌微晶.研究了水热条件对氧化锌微晶的晶粒大小和形貌的影响.在水热环境下,当反应温度一达到100℃,氧化锌微粒就能快速形成和生长.反应温度在100℃时,延长反应时间(～4h)氧化锌微晶的形貌和晶粒大小均没有受到大的影响;然而,升高反应温度氧化锌微晶的晶粒大小会略微地减小.另一方面,当反应前溶液中的pH值从9增大到12时,氧化锌微晶的形态从不规则的片状颗粒改变到长柱状晶粒.另外,随着溶液中pH值的增加,氧化锌微晶的结晶性变好、粒度变大.合理地解释了反应温度、溶液中的pH值对制得的氧化锌微晶的形态、晶粒粒度的影响.
- 江锦春程文娟张阳朱鹤孙沈德忠
- 关键词：微波水热法粒度PH值晶体
- 微波等离子体化学气相沉积制备SiCN结晶膜及SiCN微米棒阵列(英文)被引量：5
- 2004年
- 本文采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)系统 ,以CH4,H2 ,N2 作为源气体 ,以Si棒作为Si源 ,在Si衬底上制备出了SiCN结晶及SiCN微米棒阵列。样品的形貌由场发射扫描电子显微镜 (SEM)表征分析。用X射线光电子谱 (XPS)、Raman散射谱及X射线衍射 (XRD)对样品的键合状态及结构进行表征 ,结果表明 ,所得到的SiCN薄膜是一具有新的六方结构的三元化合物。
- 程文娟张阳江锦春朱鹤孙
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积CH4H2N2
