王江涌
- 作品数：71 被引量：53H指数：5
- 供职机构：汕头大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省科技计划工业攻关项目深圳市水务发展中长期战略研究项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺电子电信更多>>
- 薄膜中的扩散与应力模型
- 2016年
- 扩散会产生应力,而产生的或内禀的应力又会影响扩散,这在薄膜材料中表现的尤为突出。本文介绍了常见的几个扩散模型和应力模型,并通过热力学的方法推导出了应力条件下的扩散方程。随后采用有限元差分方法模拟了不同应力模型下的扩散分布。
- 林冰戴钟保高梦滢王江涌
- 关键词：扩散
- 铝诱导层交换的研究进展
- 2012年
- 铝诱导层交换是指铝-非晶硅双层膜经低温退火后,铝和非晶硅层的位置发生交换,导致在原来铝层的位置处形成一完整连续的多晶硅层.这一技术的应用将大幅度降低制备多晶硅薄膜的成本.本文针对近几年有关铝诱导层交换的研究进展,包括实验和理论研究两方面的进展,结合铝诱导层交换表征的一具体实例,对影响铝诱导交换的主要因素、层交换的动态过程及其机理作了一个综述.
- 刘毅黄木香徐文武陈仁武魏少巍王江涌
- 关键词：低温退火俄歇电子能谱X-射线衍射
- 择优溅射对深度剖析谱和深度分辨率的影响被引量：4
- 2013年
- 择优溅射是深度剖析实验中导致所测量元素的成分分布偏离实际的一个重要因素。本文首先在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,引入了一个描述择优溅射效应的参数,推导出了这个参数对所测量的深度剖面引起改变的一个解析式,并定量地模拟了择优溅射效应在深度剖析中对深度剖面形状和深度分辨率的影响。最后,应用拓展的MRI模型,定量分析了Ar+和N2+溅射Ni/Cr多层膜所得到的AES深度剖析数据,比较了相应的择优溅射比率和深度分辨率。
- 刘毅王江涌
- 卷对卷电子束蒸镀高阻隔膜研究进展
- 2022年
- 卷对卷电子束蒸发作为优秀的高阻隔膜制备工艺技术,兼顾了制备薄膜的致密性和高速成膜,受到国外各大高阻隔膜产商的青睐,然而,国内的卷对卷电子束蒸发高阻隔膜产业尚未形成,相关的研究也远落后于国外。本文对电子枪技术的发展、应用现状,以及对卷对卷电子束蒸发技术进行了介绍,并对卷对卷电子束制备高阻隔膜的关键技术工艺的现状进行了综述,对国产卷对卷电子束蒸镀高阻隔膜的发展进行了展望。
- 陈捷豪贺涛陈星宇马赛刘莹王江涌徐从康
- 关键词：电子束
- 近表层元素成分分布的溅射深度剖析的定量分析
- 深度剖析是将离子溅射与表面元素成分表征结合在一起的一种测量分析技术，其主要目的是为了获得薄膜材料中元素成分的深度分布。在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,首先引入了一个考虑择优溅射效应的参量.再假设原子混...
- 刘毅王江涌
- 关键词：化学元素
- 择优溅射对深度剖析谱和深度分辨率的影响
- 择优溅射是深度剖析实验中导致所测量元素的成分分布偏离实际的成分分布的一个重要因素。本文首先在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,引入了一个描述择优溅射效应的参数,推导出了这个参数对所测量的深度剖面引起改变的...
- 刘毅王江涌
- 文献传递
- 溅射深度剖析的定量分析及其应用被引量：5
- 2012年
- 本文对溅射深度剖析定量分析中广泛应用的MRI模型及其应用作了一个综述。MRI模型考虑了在深度剖析实验中,引起真实元素成分深度分布失真的三个主要因素:溅射导致的原子间混合(M),样品表面/界面的粗糙度(R),测量技术的信息深度(I)。通过考虑在溅射过程中发生的择优溅射效应,这一模型得以进一步完善。利用这一模型,可以定量分析深度剖析实验的深度分辨率,以及定量确定纳米薄膜中的互扩散系数。
- 刘毅王江涌
- 一种MicroLED的巨量转移和色彩变换的方法
- 本发明涉及一种MicroLED的巨量转移和色彩变换的方法，主要包括：(1)在蓝宝石衬底上制作阵列化图形的基于GaN的绿光、蓝光倒装芯片，再退火处理；(2)用激光分解GaN缓冲层，从而将蓝宝石剥离掉；(3)将薄膜支撑的图案...
- 徐从康顾而丹王江涌
- 文献传递
- 非晶硅薄膜晶化过程的研究被引量：2
- 2012年
- 多晶硅薄膜具有较高的电迁移率和稳定的光电性能,是制备微电子器件、薄膜晶体管、大面积平板液晶显示的优质材料。多晶硅薄膜被公认为是制备高效、低耗、最理想的薄膜太阳能电池的材料。因此,如何制备多晶硅薄膜是一个非常有意义的研究课题。固相法是制备多晶硅薄膜的一种常用方法,它是在高温退火的条件下,使非晶硅薄膜通过固相相变而成为多晶硅薄膜。本文采用固相法,利用X-ray衍射及拉曼光谱,对用不同方法制备的非晶硅薄膜的晶化过程进行了系统地研究。
- 黄木香杨琳刘玉琪王江涌
- 关键词：硅薄膜固相法
- 用溅射深度剖析技术确定薄膜中元素成分深度分布的方法
- 本发明涉及一种用溅射深度剖析技术确定薄膜中元素成分深度分布的方法，主要包括：(a)测量确定待测多层薄膜的膜厚；(b)对待测多层薄膜进行溅射深度剖析，获得样品信号强度‑溅射时间关系的实验数据；(c)信号强度得出元素i的总信...
- 王江涌温睦前梁家伟庄素娜
- 文献传递
