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潘海艳

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：长春理工大学更多>>
发文基金：吉林省科技厅科技发展计划项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇纳米光刻
  • 4篇激光
  • 4篇激光干涉
  • 4篇光刻
  • 2篇电压
  • 2篇相干
  • 2篇相移
  • 2篇纳米光刻技术
  • 2篇激光干涉光刻
  • 2篇光刻技术
  • 2篇干涉光刻
  • 1篇电压源
  • 1篇移相
  • 1篇噪声
  • 1篇噪声性能
  • 1篇相干光
  • 1篇相干激光
  • 1篇抗噪
  • 1篇抗噪声
  • 1篇抗噪声性能

机构

  • 4篇长春理工大学

作者

  • 4篇潘海艳
  • 3篇徐佳
  • 3篇王作斌
  • 3篇胡贞
  • 3篇刘兰娇
  • 3篇宋正勋
  • 3篇翁占坤
  • 3篇侯煜
  • 2篇张薇
  • 2篇刘洋
  • 2篇宋浩

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2011
  • 1篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
激光干涉纳米制造中的尺寸检测及质量评估
激光干涉纳米光刻是产生周期性、纳米级图案的有效技术之一，该技术具有无掩模、长焦深、高分辨率、成本低、容易实现大面积等优点。然而，由于在激光干涉纳米光刻产生图案的过程中存在诸多干扰因素，如温度的变化、湿度的变化、灰尘、噪声...
潘海艳
关键词：尺寸检测纳米光刻技术抗噪声性能
一种在激光干涉光刻中实现相移的方法和系统
本发明公开了一种采用移相定位系统在激光干涉纳米光刻中移相的方法。其特征在于在两光束或多光束激光干涉光刻中，将两束或多束相干激光光束组合，发生干涉，通过控制一个或多个移相定位系统使光路的光程发生改变，实现干涉图形的相位移动...
王作斌张薇徐佳刘兰娇侯煜潘海艳宋浩刘洋翁占坤宋正勋胡贞
文献传递
多光束半导体激光干涉纳米光刻技术及系统
半导体激光干涉纳米光刻技术及系统的原理是：利用半导体脉冲激光，通过分束得到所需的两束或多束相干光，这些相干光经过耦合、扩束、整形，利用干涉场中光强的重新分布在材料表面形成周期性干涉图样。利用该系统进行光刻时，可以无需掩模...
徐佳王作斌翁占坤宋正勋胡贞刘兰娇侯煜潘海艳
文献传递
一种在激光干涉光刻中实现相移的方法和系统
本发明公开了一种采用移相定位系统在激光干涉纳米光刻中移相的方法。其特征在于在两光束或多光束激光干涉光刻中，将两束或多束相干激光光束组合，发生干涉，通过控制一个或多个移相定位系统使光路的光程发生改变，实现干涉图形的相位移动...
张薇王作斌徐佳刘兰娇侯煜潘海艳宋浩刘洋翁占坤宋正勋胡贞
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