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清野慧
作品数:
4
被引量:18
H指数:2
供职机构:
日本东北大学工学部
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发文基金:
天津市自然科学基金
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相关领域:
机械工程
自动化与计算机技术
电子电信
一般工业技术
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合作作者
刘庆纲
天津大学精密仪器与光电子工程学...
叶声华
天津大学精密仪器与光电子工程学...
胡小唐
天津大学精密仪器与光电子工程学...
王战
天津大学精密仪器与光电子工程学...
胡晓东
天津大学精密仪器与光电子工程学...
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分析方法
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AFM
机构
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天津大学
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日本东北大学
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东北师范大学
作者
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清野慧
4篇
刘庆纲
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叶声华
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胡小唐
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1篇
王战
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仪器仪表学报
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天津大学学报...
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第三届海峡两...
年份
1篇
2003
1篇
2000
1篇
1999
1篇
1998
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4
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角度测量型原子间力显微镜
1999年
本文作者采用光学式角度传感器,制作了探针驱动式角度测量型原子间力显微镜(AFM),它区别于历来的原子力显微镜信号的位移测量方法,克服了以往测量方法对被测物体的尺寸、重量及扫描速度等的限制。
刘庆纲
叶声华
清野慧
清野慧
角度传感器及其在纳米测试技术中的应用
目前,测量角位移的方法主要有光电自准直仪法和双频激光干涉仪法。这两种方法虽然都具有比较高的测量精度,但基本都局限于实验环境,对测量条件要求较高,且测量系统比较复杂,操作不便。因此很难适应高精度在线测量的要求。该研究利用临...
刘庆纲
胡小唐
叶声华
清野慧
关键词:
角度传感器
角位移测量
文献传递
网络资源链接
材料表面硬度及形状的AFM分析方法
被引量:6
2003年
利用AFM测量软性材料如聚合体、生物物质时,AFM探针对被测软性材料表面施加一定的力而引起材料表面产生变形.通过测力 位移曲线,基于AFM测力 压痕曲线分析,探讨了减轻该影响并获得高精度软性材料表面形状测量结果的方法,进而计算材料表面微观杨氏弹性模量.该方法不仅可决定物体的表面弹塑性,获得高精度的表面形状测量结果,而且通过了解物体变形机理,进一步分析材料的微观特性.
刘庆纲
李德春
王战
胡晓东
胡小唐
清野慧
关键词:
原子力显微镜
杨氏弹性模量
光学内反射型精密角度传感器
被引量:12
1998年
本文基于光从光密介质传到光疏介质时,在临界角附近随光的入射角的微小变化,光的反射率发生急剧变化的原理,设计了利用临界角棱镜组成的多次反射型临界角角度传感器。通过光学式差动检测方法,减小了反射光所固有的随入射角的变化,其反射率变化曲线的非线性,进而通过检测光的反射率,可高精度地检测角度变化量。该传感器体积小结构简单,可通过调整初始入射角、反射次数及反射光的性质控制其精度和测量范围,可设计适于多种精度要求的微小角度的精密测量仪器。
刘庆纲
叶声华
清野慧
关键词:
角度传感器
角位移
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