林凯
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：河北工业大学计算机科学与软件学院更多>>
- 发文基金：河北省自然科学基金国家中长期科技发展规划重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信建筑科学理学更多>>
- 优化CMP碱性铜抛光液配比的新方法被引量：2
- 2015年
- 采用响应曲面法(RSM)和人工神经网络(ANN)分别对化学机械抛光(CMP)碱性铜抛光液的主要成分(Si O2磨料、FA/O型螯合剂、H2O2氧化剂)进行优化研究。采用RSM优化,当抛光液中磨料、氧化剂和FA/O型螯合剂的体积分数分别为10.57%,1.52%和2.196%时,Cu的抛光速率的预测值和实测值分别为924.29和908.96 nm/min;采用ANN结合人工蜂群算法(ABC)优化,当抛光液中磨料、氧化剂和FA/O型螯合剂的体积分数分别为11.58%,1.467%和2.313%时,Cu的抛光速率的预测值和实测值分别为947.58和943.67 nm/min,其拟合度为99.36%,高于RSM的94.63%,且均方根误差较低为0.199 3。结果表明,在抛光液配比优化方面,RSM和ANN都是可行的,但后者比前者具有更好的拟合度和预测准确度,为更加高效科学地优化抛光液配比提供了一种新的思路和方法。
- 樊世燕刘玉岭林凯石陆魁刘恩海
- 关键词：抛光液
- ELECTRE法和熵权法相结合的建筑施工模板配板设计方案研究被引量：1
- 2014年
- 模板配板设计方案的优选是模板工程施工中的重要环节,以往优选方案的确定主要依靠设计人的主观意念,难以客观、科学、系统地评判设计方案的优劣。文章将ELECTRE法和熵权法相结合,建立建筑施工模板配板设计方案的优选模型,用于施工模板方案的优化。通过算例,证明此种方法在实际工程中具有可行性、合理性、实用性。
- 阎西康张俊陈培王昊张玉淙王晶雨孔德霞林凯刘芳
- 关键词：建筑施工熵权法
