李国卿
- 作品数:103 被引量:262H指数:8
- 供职机构:大连理工大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划高等学校科技创新工程重大项目更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学金属学及工艺电子电信更多>>
- 射频辉光放电自偏压对制备类金刚石薄膜结构和性能的影响
- 本文采用高压探头示波器系统研究了射频辉光放电参数对自偏压的影响规律,在纯氩气和氩气-乙炔混合气的辉光放电中,自偏压随着功率的平方根线性增加;随着气压增加线性降低。采用纳米压痕仪、Raman表征,研究结果表明,功率500W...
- 楚新蒲苟伟李国卿柳翠
- 文献传递
- 多元离子束增强沉积在新型薄膜材料上的应用被引量:1
- 1997年
- 采用N++Cr+多元离子束增强沉积合成(TiCr)N膜层,对膜层进行了AES、TEM和XRD分析.测试了膜基体系的力学性能和电化学性能.与普通物理气相沉积相比,多元离子束增强沉积显示了开发新型薄膜材料的较强潜力.
- 张涛张通和张荟星马本坤李国卿宫泽祥
- 关键词:离子束离子束增强沉积
- 掺铒Al_2O_3薄膜的性能与制备被引量:2
- 2004年
- 简述了几种Al2O3薄膜的制备方法,使用中频孪生靶非平衡磁控溅射系统制备了掺铒Al2O3薄膜,并对其进行检测,结果表明该方法制备的薄膜适于制作光纤放大器。
- 黄开玉李国卿柳翠高景生宋琦王丽阁
- 关键词:掺铒AL2O3薄膜光致发光磁控溅射
- 不锈钢上液相电沉积类金刚石薄膜被引量:8
- 2007年
- 以甲醇有机溶液作碳源,应用直流脉冲电化学沉积方法,在不锈钢表面制备了类金刚石碳薄膜.用原子力显微镜、扫描电镜、拉曼光谱仪和傅立叶红外吸收光谱表征该薄膜的表面形貌和结构.结果表明:经电化学沉积的含氢类金刚石碳薄膜均匀、致密,表面粗糙度小;Raman光谱在1 332.51cm-1处有一强的谱峰,与金刚石的特征谱峰相重合.加入活性添加剂,增加了电流密度,使沉积速率提高到0.5μm/h.
- 杜景永张贵锋李国卿侯晓多
- 关键词:电化学沉积类金刚石碳膜RAMAN光谱FTIR光谱
- 射频辉光放电自偏压对类金刚石碳膜结构和性能的影响被引量:2
- 2006年
- 采用高压探头示波器系统研究了射频辉光放电参数对自偏压的影响规律.结果发现自偏压随着射频功率平方根而线性增加,随纯Ar和Ar,C2H2混合气体气压的降低而降低,自偏压随C2H2的比率增大而增加,而且,射频输入功率在500和700 W下,由射频辉光放电所制备的类金刚石薄膜分别通过Raman光谱和纳米压痕技术测试,研究了这些薄膜的微观结构和机械性能.功率500 W制备的类金刚石薄膜(ID/IG为0.66)较700W制备的类金刚石薄膜(ID/IG为1.44)具有较高的硬度和sp3键含量,表明在500 W功率下制备的类金刚石薄膜中有高含量的sp3键.
- 楚信谱苟伟李国卿柳翠
- 关键词:射频放电类金刚石碳膜RAMAN光谱
- 纳米晶结构NiO_x薄膜Li^+致色性能研究
- 2008年
- 采用中频孪生非平衡磁控溅射方法制备了纳米晶结构NiOx电致变色薄膜。原子力显微镜(AFM)、掠入射X射线衍射(GID)、X射线反射(XRR)分析薄膜结构、形貌及薄膜厚度;利用电化学设备、紫外分光光度计等手段测试薄膜循环伏安及光谱特性。结果表明:沉积获得NiOx薄膜质地均匀,晶粒尺寸约为4.5 nm,薄膜表面粗糙度Ra=1.659 nm;以Li+离子为致色粒子,厚度60nm的NiOx薄膜在±3 V的高驱动电压下薄膜对可见光透过率调制范围达30%以上,电致变色性能较好。
- 王丽阁李剑锋李国卿马明涛
- 关键词:电致变色NIOX纳米晶
- 优良特性材料的离子束技术
- 1996年
- 以离子束技术为核心的载能粒子束技术近年来获得快速的发展,已逐步形成材料表面改性和合成新材料的产业化技术。俄、美、德、日等国在该技术领域占有一定的优势。我国八六三高技术计划和自然科学基金也设有离子束技术研究项目,如金属离子源、离子束辅助沉积技术、重金属离子复合注入技术、全方位离子注入技术和材料表面改性的试验方法等。大连理工大学三束材料改性国家重点实验室先后承担了八六三计划"重金属离子复合离子注入技术研究"、"全方位离子注入研究",以及自然科学基金"金属离子束增强沉积薄膜机理研究"和"气固复合离子源机理研究"等项目。
- 李国卿
- 2024铝合金表面镀CrNx多层膜的研究被引量:6
- 2008年
- 在2024铝合金上采用了二次浸锌的预处理方法,化学镀镍,电镀铜作为过渡层的特殊工艺,再利用磁过滤脉冲偏压电弧离子镀技术制备了Zn/Ni/Cu/Cr/CrNx多层梯度膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计和腐蚀测量仪等测试手段分析薄膜的成分、结构、表面形貌、显微硬度和耐腐蚀性等特性。结果表明:多层梯度膜提高了铝合金上CrNx涂层的结合力,能够有效地解决铝合金上镀硬质膜的热适配和晶格错配度大的难题,形成了良好力学梯度过渡的表面改性技术;Cr/CrNx膜使铝合金表面具有高的硬度和良好的耐蚀性,对轻合金表面涂覆超厚硬质膜具有一定的研究意义。
- 张礼平李剑锋李国卿王兆松李晓娜董闯
- 关键词:铝合金耐腐蚀性
- 有开放约束磁场磁控溅射系统等离子体引出被引量:8
- 2003年
- 在磁控溅射系统阴极靶施加同轴可调约束磁场显著改善了系统放电特性。研究了在Ar气放电系统伏安特性随不同的气压、溅射电压变化规律。采用同轴平面探针诊断距阴极 60mm、1 1 0mm和 2 30mm三个不同位置收集电流密度 ,负偏压 1 50V。实验结果表明存在不同的开放约束磁场和气压下放电特性符合I∝Vn(n≈ 1 2~ 1 5) ,开放约束磁场降低了系统的放电电压 ,增强了等离子体的引出效果 ,提高了系统在较低真空度的放电稳定性。轴向开放约束磁场显著提高了收集电流密度 ,离子收集通量在距阴极 2 30mm的位置达到 9 5mA/cm2 。收集电流密度达到饱和值后不再受轴向开放约束磁场强度和工作电流的影响。根据磁流体理论讨论了引起系统中伏安放电特性的变化原因。
- 牟宗信李国卿柳翠贾莉张成武
- 关键词:等离子体
- 碳—钛离子同步注入组织观察被引量:3
- 1993年
- 在新型的TITAN离子注入系统中,采用组合阴极的方法,进行了碳—钛离子同步注入试验,对纯铁中的离子注入组织进行了电镜观察研究。碳离子注入形成了粒状的Fe_3C相。
- 李国卿王德和张涛刘邦智许晓磊黑祖昆
- 关键词:离子注入碳离子钛离子