朱兆颖
- 作品数：5 被引量：18H指数：3
- 供职机构：同济大学机械与能源工程学院更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术化学工程更多>>
- 紫外纳米压印技术的图形转移层工艺研究被引量：3
- 2006年
- 研究了紫外纳米压印技术的图形转移层工艺,通过改变膜厚进行压印对比实验,将转速控制在3000～4000r/min,成功地得到了50nm光栅结构的高保真图形,复型精度可以达到93.75%。同时阐明,纳米压印技术由于具有超高分辨率、低成本、高产量等显著特点,将成为下一代光刻技术(NGL)的主要候选者之一。
- 朱兆颖乌建中顾长庚刘彦伯
- 关键词：光刻
- 紫外纳米压印模板表面修饰工艺研究被引量：1
- 2007年
- 研究紫外纳米压印技术的模板表面修饰工艺,对经过表面修饰的模板与未经修饰的模板得到的不同压印结果,通过大量实验进行对比分析,验证模板表面修饰工艺是有效控制压印结果,确保压印复型精度的关键。
- 朱兆颖顾长庚乌建中刘彦伯
- 关键词：集成电路
- 紫外纳米压印关键技术——图形转移层与模压曝光工艺研究
- 纳米结构是研究纳米科技的物质基础，随着集成电路特征尺寸的不断减小，传统的光刻技术正面临成本和工艺的重重困难，已成为当今世界科学研究亟待解决的难题之一，纳米压印技术由此而生。纳米压印技术作为一种新的纳米结构加工制造技术，与...
- 朱兆颖
- 关键词：紫外纳米压印模压工艺
- 文献传递
- 下一代实用光刻技术——纳米压印技术被引量：14
- 2005年
- 详细介绍了纳米压印技术的应用前景,对目前各种纳米压印工艺进行归纳、分类。通过 对不同工艺过程的深入比较,分析了它们的优缺点,并展望了各自的应用前景。
- 刘彦伯顾长庚乌建中朱兆颖
- 关键词：纳米压印技术热压印
- 纳米压印及相关核心技术
- 纳米压印技术由于具有超高分辨率、高产量、低成本等显著特点,将成为下一代光刻技术(NGL)的主要候选者之一。本文分析了影响纳米压印工艺过程的主要核心技术及研究现状,如模板制备、光刻胶、高精度压印制程条件、模板与基片分离技术...
- 李小丽朱兆颖万永中刘彦伯王庆康
- 关键词：纳米压印光刻胶
- 文献传递
