方亮
- 作品数：5 被引量：19H指数：3
- 供职机构：四川大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 表面等离激元体干涉制备纳米光子晶体的模拟分析被引量：6
- 2009年
- 利用表面等离激元短波长和近场增强效应的特性,用多束p偏振态相干光激发表面等离激元(SPPs),并优化干涉光刻的曝光参数,可获得高分辨率、高对比度周期性纳米结构。阐述了多束SPPs干涉法制备纳米光子晶体的原理,并得到了干涉场强度分布随光束增加的关系。随着干涉SPPs数目的增加,干涉场会复杂变化,对此进行了计算机模拟。模拟了三束SPPs和六束SPPs干涉的强度分布,并分析了调制技术干涉曝光结果。该方法适合光电子器件中大范围亚波长的周期性孔阵或点阵结构的制作以及纳米量级光子晶体的的制作,并可以有效降低制作成本。
- 金凤泽方亮张志友杜惊雷郭永康
- 关键词：光子晶体表面等离激元
- 用等腰三角形位相光栅进行相干光并束的研究被引量：1
- 2007年
- 为了满足未来惯性约束激光核聚变(ICF)的快速点火装置对高能量激光束的要求,提出并特殊设计了一种可用于ICF系统中相干并束的等腰三角形位相光栅。模拟计算和分析的结果表明,这种等腰三角形位相光栅对4束相干激光并束的效率理论上可以达到90.2%,比普通的二元达曼型位相光栅的衍射效率高22个百分点。相对而言,该光栅具有加工难度低、误差宽容度大等优点,有较强的实用前景。
- 王景全罗铂靓张志友方亮杜惊雷
- 关键词：衍射光栅
- 用二维正弦相位光栅实现阵列激光相干并束被引量：7
- 2008年
- 相干并束是获得高功率激光束的一种有效方法,特殊设计的二维正弦相位光栅是一种较好的并束元件。介绍了二维正弦相位光栅并束的设计方案,计算表明,在3×3和4×4分束时分束效率分别为81.1%和73.1%,与常用的达曼光栅相比分别提高37%和26.9%。对正弦相位光栅的制作和误差分析表明,并束效率存在极大值,给光栅的制作带来较大的误差宽容度,分束与并束在光栅表面的光场存在一定差别。如果仅用于并束,并束效率还有提高的可能。
- 王景全方亮张志友杜惊雷郭永康
- 关键词：激光技术误差分析
- 锯齿型衍射光阑的优化设计与制作被引量：2
- 2009年
- 在传统几何光阑基础上,利用微细加工技术在其特定区域制作衍射微结构,则可获得既能控制光束大小又能实现光束整形的衍射光阑。针对高功率激光放大系统前端光束形态控制的需求,对可产生平顶超高斯光束的锯齿型衍射光阑的优化设计理论进行了研究,提出引入均方误差和顶部不均匀度两个参数作为优化设计的评价依据,并在此基础上对影响光阑光束控制效果的衍射微结构进行了深入分析,获得了锯齿型衍射光阑关键参数的优化设计方法,最后,提出采用镀膜结合光学光刻的方法,制作了锯齿型衍射光阑。
- 谢端高福华胡东霞方亮龚力郭永康
- 关键词：激光系统
- 多光点扫描数字光刻制作DOE的方法研究被引量：5
- 2007年
- 在DMD(Digital Micromirror Device)数字光刻系统中使用微透镜阵列聚焦可在像面获得灰度点阵图形,若曝光的同时基底按预设计的方式同步扫描,则可形成所需求的曝光场分布.这一方法用于衍射微光学元件(DOE)制作,可方便快捷获得高质量的连续面形微结构.文中通过对扫描方式的分析和计算,给出了适于菲涅耳微透镜制作的基片台扫描参数和模拟结果,为用该系统进行DOE实际制作提供了依据.
- 方亮段茜郭小伟王景全张志友杜惊雷
- 关键词：DMD数字光刻分辨率DOE
