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张晔

作品数:26 被引量:42H指数:4
供职机构:上海交通大学更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术经济管理文化科学更多>>

文献类型

  • 9篇专利
  • 8篇学位论文
  • 6篇期刊文章
  • 3篇会议论文

领域

  • 7篇电子电信
  • 5篇自动化与计算...
  • 3篇经济管理
  • 2篇文化科学
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇语言文字
  • 1篇理学

主题

  • 5篇光刻
  • 5篇UV-LIG...
  • 5篇UV-LIG...
  • 4篇微结构
  • 4篇光刻胶
  • 4篇SU-8光刻...
  • 4篇SU-8胶
  • 3篇曝光量
  • 2篇信号电路
  • 2篇亚胺
  • 2篇颜色映射
  • 2篇映射
  • 2篇照片拍摄
  • 2篇色板
  • 2篇色相
  • 2篇探针
  • 2篇套刻
  • 2篇套刻精度
  • 2篇氢化
  • 2篇氢化钠

机构

  • 26篇上海交通大学

作者

  • 26篇张晔
  • 10篇陈迪
  • 9篇刘景全
  • 8篇朱军
  • 5篇靖向萌
  • 4篇张金娅
  • 4篇陈翔
  • 3篇王新兵
  • 2篇倪智萍
  • 2篇刘海洋
  • 2篇甘小莺
  • 2篇陈志敏
  • 2篇张保增
  • 2篇黄闯
  • 2篇朱思宇
  • 1篇李建华
  • 1篇何晨
  • 1篇蒋铃鸽
  • 1篇方华斌
  • 1篇潘欣欣

传媒

  • 2篇微细加工技术
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇上海交通大学...
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇压电与声光
  • 1篇第八届中国微...
  • 1篇中国微米纳米...
  • 1篇中国微米、纳...

年份

  • 1篇2022
  • 2篇2020
  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2012
  • 3篇2008
  • 2篇2007
  • 3篇2006
  • 5篇2005
  • 1篇2004
26 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响
本文基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律.从聚合度和聚合所得高分子结构...
张晔陈迪张金娅朱军刘景全
关键词:UV-LIGA技术SU-8光刻胶倒角曝光量
文献传递
UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响
2005年
基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律.从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给出了合理的解释,并基于该变化规律提出了一种新的消除微结构倒角的方法.
张晔陈迪张金娅朱军刘景全
关键词:UV-LIGA技术SU-8胶
SU-8胶光刻工艺参数优化研究被引量:14
2005年
对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间增加先减少后增加,有一个极小值;侧壁角度先增加后减少,有一个极大值。通过优化光源波长、曝光时间以及显影时间三个主要工艺参数,可以获得侧壁角度为90.64°正角的300μm厚光刻胶微结构和侧壁角度为89.98°近似垂直的500μm厚光刻胶微结构。
张晔陈迪张金娅倪智萍朱军刘景全
关键词:UV-LIGA技术SU-8胶高深宽比微结构
N-硫芳基苯磺酰亚胺及其制备方法和应用
本发明涉及N‑硫芳基苯磺酰亚胺及其制备方法和应用,以双苯磺酰亚胺为原料,与氢化钠反应得到双苯磺酰亚胺的钠盐,制备得到的双苯磺酰亚胺的钠盐与苯(包括取代的苯基)次磺酰氯反应,得到N‑硫芳基苯磺酰亚胺,可以在硫芳基化反应中应...
陈志敏张晔罗会云丁同梅
招行上海分行零售业务竞争战略研究
随着上海地区经济的快速增长,居民财富收入的不断累积,科技的迅猛发展,招行上海分行零售业务的市场环境正逐步改善。但是,激烈的同业竞争、外资银行的涌入、异业代替者互联网金融的出现、利率市场化、金融脱媒等因素使得招行上海分行在...
张晔
关键词:商业银行零售业务差异化竞争
文献传递
基于数据融合的极地船舶海上航行安全风险动态分析方法研究
近年来,北极冰层的持续融化使得北极航线夏季通航环境逐步改善,凭借其运输距离更短的经济性优势,北极航线运输量正呈现逐年增长的趋势。但是,北极航线相对恶劣的自然环境条件(例如浮冰的海面和沿岸稀疏的港口设施等)导致北极航线上的...
张晔
文献传递
UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响
基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1。研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律。从聚合度和聚合所得高分子结构两方...
张晔陈迪张金娅朱军刘景全
关键词:UV-LIGA技术SU-8胶
文献传递
基于色相的容量可变彩色二维码流数据通信方法及系统
本发明提供了一种基于色相的容量可变彩色二维码流数据通信方法及系统,获得照片拍摄设备的颜色识别率,并找出该设备中能够最大化二维码容量的颜色数量;根据所选的最优颜色数量对原始数据分段并添加校验位与掩码,随后利用通过颜色生成算...
朱思宇张晔赵性雅王新兵甘小莺
文献传递
星巴克(中国)的营销战略研究
本文在运用5C模型分析了市场环境和内部环境的基础上,进行了市场细分,确定星巴克的目标市场是有文化底蕴的、高品味的高收入都市人,而将星巴克和竞争者区分开来的市场定位主要是咖啡专长和热情的员工,还有改变世界的热忱、创新和星巴...
张晔
关键词:核心竞争力营销战略体验营销咖啡文化公司治理
文献传递
一种基于线圈检测器数据的交通主干道速度估计装置
一种基于线圈检测器数据的交通主干道速度估计装置,包括计算机中央处理器和数据存储器,中央处理器执行以下计算步骤:获取线圈检测器数据、路段几何属性、信号配时参数和预先设置的饱和流量常数作为输入参数,计算得到上游路段和中间路段...
谢驰张晔刘海洋
文献传递
共3页<123>
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