马博琴
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：河北大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：河北省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 蒙特卡罗模拟金刚石薄膜化学气相沉积过程中甲烷浓度的影响被引量：1
- 2005年
- 本工作采用蒙特卡罗模拟,研究了以CH4/H2气体混合物作为源料气体的电子辅助热丝化学气相沉积中甲烷浓度对气相沉积过程的影响.计算了典型实验条件下电子能量分布,研究了电子平均能量、碎片H及CH3数目的空间分布、H与CH3的比值及CH3携带的能量随甲烷浓度的变化.结果表明:当电子能量为2-3eV时,电子的数密度达到一峰值;平均电子能量随着甲烷浓度的增加而增加;电子与气体分子碰撞产生的碎片H、CH3和CH2的数密度随距热丝的距离而变化;随着甲烷浓度的增加,原子氢H的数目缓慢下降,然而,官能团CH3和CH2的数目缓慢上升;H与CH3的数量比随甲烷浓度的增加而减少;碎片CH3携带的能量处于1～5eV范围之内,且当甲烷浓度为1.3%时,该能量达到一最值.
- 尚勇董丽芳马博琴王志军
- 关键词：金刚石薄膜甲烷
- CH/_4//H/_2系统电子助进化学气相沉积气相过程研究
- 本工作采用蒙特卡罗/(Monte-Carlo/)计算机模拟的方法，对以CH/_4／H/_2为源气体的电子助进化学气相沉积/(EACVD/)金刚石薄膜中的气相分解过程进行了研究，初步建立了EACVD气相动力学模型，并讨论了...
- 马博琴
- 关键词：化学气相沉积MONTE-CARLO模拟
- 文献传递
- 直流电场中甲烷气体的分解过程被引量：2
- 2001年
- 采用MonteCarlo模拟方法 ,对直流电场中甲烷分子的分解过程进行研究 ,计算出电子在甲烷气体中的漂移速度 ,结果与实验符合得很好 ,同时 ,得到了甲烷分解碎片的空间分布曲线 .
- 马博琴董丽芳
- 关键词：漂移速度甲烷直流电场金刚石薄膜
