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陈金学
作品数:
4
被引量:18
H指数:3
供职机构:
浙江大学
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理学
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合作作者
杨德仁
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
吴冬冬
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
席珍强
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
李晓强
浙江大学
余学功
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变温磷吸杂对多晶硅性能的影响
被引量:12
2007年
用微波光电导衰减仪(μ-PCD)研究了不同温度和时间的恒温和变温磷吸杂处理对铸造多晶硅片电学性能的影响。实验发现:变温吸杂明显优于恒温吸杂,特别是对原生高质量多晶硅;其优化的变温磷吸杂工艺为1000℃/0.5h+700℃/1.5h;而在高温恒温吸杂中,多晶硅少子寿命值反而显著下降。实验现象表明:磷吸杂效果主要是与过渡族金属的溶解、扩散和分凝有关。
陈金学
席珍强
吴冬冬
杨德仁
关键词:
多晶硅
少子寿命
铸造多晶硅中铁的磷吸杂和氢钝化机理
被引量:5
2005年
应用微波光电导衰减仪的方法研究了在不同温度情况下引入铁沾污后再分别进行磷吸杂和等离子体增强化学气相沉积钝化处理对铸造多晶硅片电学性能的影响.实验发现:在中、低温(低于900℃以下)情况下被铁沾污后的多晶硅材料经磷吸杂处理后再结合氢钝化可以显著地改善材料的电学性能;而对于高温(1100℃)情况下被铁沾污后的多晶硅材料经磷吸杂处理后其少子寿命降低,使接着进行的氢钝化也没有明显效果.这表明磷吸杂和氢钝化可以有效地改善被铁沾污后的多晶硅的电学性能,但是改善的效果与铁在硅体内的不同存在形态有关.磷吸杂和氢钝化中只对以间隙态或以其他复合体形态存在的铁有明显的吸杂作用,而对于以沉淀形态存在的铁却没有作用;氢钝化在金属杂质被吸杂移走之后才是最有效的.
陈金学
席珍强
吴冬冬
杨德仁
关键词:
铁
太阳能用晶体硅中铁杂质及其磷吸杂研究
本文采用不同热处理温度(700~1 000℃)引入不同浓度的铁杂质,观察了引铁温度对p型单晶硅(无位错和有位错)有效寿命的影响,并比较了磷吸杂工艺对铁沾污的单晶硅和多晶硅的吸杂效果。随着引铁温度的升高,晶体硅有效寿命快速...
朱笑东
杨德仁
余学功
李晓强
陈金学
关键词:
硅太阳能电池
铁杂质
单晶硅
文献传递
晶体硅太阳电池材料的磷吸杂研究
近年来,利用太阳电池发电受到了人们的日益重视。晶体硅材料是太阳电池的主要材料,其性能的好坏直接影响着电池最终的转换效率。磷吸杂作为提升晶体硅材料性能的主要手段被广泛应用在太阳电池的生产工艺中。本文在对常规磷吸杂的基础上,...
陈金学
关键词:
太阳电池
晶体硅
铁
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