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郑华军
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
南昌大学机电工程学院
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发文基金:
湖北省现代制造质量工程重点实验室开放基金
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
金属学及工艺
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合作作者
刘莹
南昌大学机电工程学院
周顺斌
南昌大学机电工程学院
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光纤光学
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PZT
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测试技术
1篇
测试仪器
机构
3篇
南昌大学
作者
3篇
郑华军
2篇
刘莹
1篇
周顺斌
传媒
1篇
润滑与密封
1篇
机械设计
年份
2篇
2009
1篇
2008
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3
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微观粘着测试技术研究进展
2008年
微构件粘附是造成微机电系统(MEMS)失效的主要原因,也是导致MEMS性能不稳定难以走向市场的关键所在。因此,对于MEMS粘着问题的研究,微观粘着测试技术显得极为重要。综述了国内外微观粘着测试技术的研究进展和现状,介绍了基于应变片、光学检测、电容式传感器、压电式力传感器和分析天平等原理的粘着测试装置,分析了它们的工作原理和特点。
郑华军
刘莹
周顺斌
关键词:
粘着力
测试技术
压电陶瓷驱动器装夹机构设计
被引量:1
2009年
采用直圆柔性铰链支撑的复合平行四杆机构,设计了一种压电陶瓷(PZT)驱动器的装夹机构。该机构具有导向精度稳定、响应速度快、分辨率高和无耦合运动等优点。从力学理论出发推导了柔性铰链刚度的简化计算公式,运用参数化的分析方法求得了柔性铰链结构参数对装夹机构应力、刚度及有效行程的影响。实验测得刚度和有效行程的理论计算误差分别仅为3.9%和1.4%,表明了该设计方法的可靠性与有效性。
郑华军
刘莹
关键词:
柔性铰链
微动工作台
基于光纤光学系统的微观粘着测试仪器研制
粘附是微/纳米尺度下十分普遍和突出的现象。实践证明,随着材料和加工尺寸的日趋减小,表面效应和尺度效应对微机电系统(MEMS)的影响越来越明显。微构件粘附是造成MEMS失效的主要原因之一,也是导致MEMS性能不稳定而难以走...
郑华军
关键词:
测试仪器
光纤光学
光纤位移传感器
PID控制
压电陶瓷
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