肖孟超
- 作品数：35 被引量：40H指数：4
- 供职机构：南昌航空大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金江西省教育厅资助项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 提高激光标线器线斑光强均匀性的高阶模法被引量：3
- 2007年
- 基模激光光源的光强高斯分布,使得激光标线器的线斑光强分布不均匀。提出了一种用TEM20,TEM40类的高阶模光源代替基模光源的方法。这类高阶模的一个正交方向上的光强分布为几个高斯轮廓的叠加,相对于基模光强的单个高斯分布提高了均匀性。当相邻两高斯分布间间距越小时,高阶模光强分布越均匀。实验通过使激光二极管(LD)相对于腔模轴线横向偏离得到高阶模。通过对横向偏距的精确控制,来控制相邻高斯分布的间距。在激光标线器1 m工作距离处,分别在基模和高阶模作为光源的情况下测得线斑光强数据。数据表明,高阶模光强分布的多瓣叠加特性能提高线斑的光强分布均匀性。
- 肖孟超姜耀亮檀慧明钱龙生
- 关键词：激光技术固体激光器高阶模
- 薄膜应力激光测量方法分析被引量：4
- 2005年
- 总结了薄膜应力的一些测量方法。分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法———激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度。激光干涉法的精度可达 0. 92%,可测量的最小应力值为 15. 7MPa;激光束偏转法较低,为 2. 12%,可测量的最小应力值为 25. 5MPa,空间分辨率低,约为 100μm。
- 王成马莹张贵彦肖孟超甘志宏缪同群钱龙生
- 关键词：激光应力
- 一种高精度平凹激光腔双光路对准装置及方法
- 本发明公开了一种高精度平凹激光腔双光路对准装置及方法，属于固体激光器激光腔调节领域。设置双光路分先后对准具有不同屈光特性的凹面和平面腔镜；在凹面腔镜对准光路中设置会聚点与凹面腔镜球心重合的正光焦度镜组；针对不同曲率半径R...
- 肖孟超
- 文献传递
- 一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置及方法
- 本发明公开了一种基于高斯光束的平凹激光腔双光路对准装置及方法，属于固体激光器激光腔调节领域。设置双光路分先后对准具有不同屈光特性的凹面和平面腔镜；在凹面腔镜对准光路中设置焦点与凹面腔镜球心重合的正光焦度镜组；对于高斯光束...
- 肖孟超
- 文献传递
- 一种基于高斯光束的平凹激光腔对准方法被引量：2
- 2006年
- 给出了一种基于高斯光束的平凹激光腔对准方法。在高斯准直光束后加一透镜系统,恰当地调整准直高斯光束到某一种汇聚发散的状态。在这种状态下,可使由平凹腔凹面镜和平面镜反射回来的光斑直径大小相仿,解决了不加透镜系统时,两反射回来光斑直径相差很大,难于对准的问题,提高两光斑的对准精度。实验使用束腰为0.6 mm的氦氖光,其后加一优化好的透镜系统,在889 mm的距离下,对凹面镜曲率半径为50 mm的平凹腔进行对准。得到由凹面镜和平面镜反射回来的光斑直径分别为4.8 mm和5.1 mm,平凹腔的角度对准精度达到了3.18′。对准好的腔体在点亮LD后,均能出基模光斑。实验结果与理论分析相符,证明了该对准方法结构简单,执行方便。
- 肖孟超姜耀亮檀慧明钱龙生
- 关键词：高斯光束平凹腔
- 薄膜应力对薄膜测量和使用的影响被引量：1
- 2005年
- 基片在薄膜应力作用下产生宏观弯曲变形,使入射光线的入射角在基片不同位置产生偏差。根据空间两直线夹角公式,计算了入射光线在曲面上任意一点的入射角,得出同一入射方向的光线在曲面不同点具有不同的入射角,即产生入射角度偏差,偏差大小与基片弯曲曲率半径成反比和入射点位置成正比。进而分析了角度偏差对光谱的影响。实验结果表明,离参考点位置越远,波长偏差越大;角度越大,耦合效率越低。实验结果与理论分析一致。
- 王成马莹张贵彦肖孟超钱龙生
- 关键词：薄膜应力入射光线入射角应力作用曲率半径基片
- 一种基于高斯光束的平凹激光腔单光路对准装置及方法
- 本发明公开了一种基于高斯光束的平凹激光腔单光路对准装置及方法，属于固体激光器激光腔调节领域，针对凹面和平面腔镜不同的屈光特性，在凹面和平面腔镜之间嵌入焦点与凹面腔镜球心重合的负光焦度镜组，对于高斯光束，该镜组与凹面腔镜组...
- 肖孟超
- 文献传递
- 微光学器件移动数字掩模制作方法
- 一种微光学器件移动数字掩模制作方法，其特征是制作方法为：(1)通过移动数字掩模制作方法的掩模函数设计移动数字掩模图形；(2)根据曝光能量积累函数设定掩模图形的运动速度及时间；(3)对移动的移动数字掩模图形进行累积曝光，从...
- 高益庆喻立霞罗宁宁陈敏龚勇清肖孟超余秋香叶青
- 文献传递
- 紫外LED光刻光源系统的研究进展被引量：1
- 2013年
- 紫外LED光刻光源具有价格低廉、体积小、能耗低、寿命长、环保等诸多优点,因而近年来受到国内外学者的广泛关注。本文简要分析光刻光源系统的结构,归纳紫外LED光刻光源的特点,详细阐述现阶段国内外对紫外LED光刻光源系统的最新研究进展及成果,通过对系统输出光特性的综合分析与讨论全面综述了紫外LED光刻光源系统的光学设计方法,为紫外LED应用于高端微加工设备的进一步研究提供有益参考。
- 王国贵高益庆肖孟超罗宁宁王彬万军
- 关键词：光束整形照明系统
- 一种改进的反/衍混合大视场卡塞格林望远镜
- 一种改进的反/衍混合大视场卡塞格林望远镜，其特征是主镜的左侧是次镜，次镜的背面连有遮光板，主镜的右侧为后续矫正透镜组，后续矫正透镜组由依次排列的三个透镜组成，这三个透镜均选择普通材质，主镜和次镜为非球面镜且只是二次曲面镜...
- 高益庆李芸罗宁宁肖孟超龚勇清杨娟
- 文献传递
