2024年12月28日
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罗毅
作品数:
14
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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发文基金:
中国科学院院地合作项目
江苏省产学研联合创新资金项目
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李向阳
中国科学院上海技术物理研究所
刘福浩
中国科学院上海技术物理研究所
贾嘉
中国科学院上海技术物理研究所
赵水平
中国科学院上海技术物理研究所
杨晓阳
中国科学院上海技术物理研究所
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作者
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罗毅
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李向阳
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赵水平
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一种具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器
本发明公开了一种具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器。器件结构包括:蓝宝石衬底;在衬底上制作矩形敏感元和补偿元,补偿元在敏感元任一侧,敏感元剖面呈倒凹形,与衬底之间有空气夹层,补偿元直接制作在衬底上;敏感元与补偿...
刘福浩
杨晓阳
贾嘉
蒋科
罗毅
刘诗嘉
孙晓宇
李向阳
文献传递
支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件
本发明提供一种支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件,属于红外探测器技术领域,其可至少部分解决现有的红外探测器窗口片金属化工艺中手工粘贴掩膜块导致的精度不准和效率低下的问题。本发明的一种支撑板具有第一开孔、第二开孔、第三开孔...
杨晓阳
罗毅
陈心恬
蒋科
龚玮
刘福浩
李向阳
碲镉汞线列光导器件的失效模式及原因分析
被引量:1
2022年
针对不同项目研制过程中碲镉汞线列光导器件在筛选测试和应用中出现的失效模式进行了归纳和总结,并综合碲镉汞材料参数、器件结构尺寸、器件物理、器件制备工艺和器件测试等几个方面因素对器件失效的可能原因进行了分析,首次提出碲镉汞线列光导器件的优值因子作为失效判据,为进一步理解碲镉汞线列光导器件的物理机理以及更好优化器件的筛选过程提供了参考,为碲镉汞线列光导器件应用中出现的失效问题提供了分析和解决的方向。
乔辉
王妮丽
兰添翼
赵水平
田启智
陆液
王仍
霍勤
施帆
汤亦聃
储开慧
贾嘉
周青
孙晓宇
姜佩璐
罗毅
陈心恬
李向阳
关键词:
碲镉汞
光导器件
一种可控制时间常数的锰钴镍热敏器件及其制备方法
本发明公开了一种可控制时间常数的锰钴镍热敏器件及其制备方法,其特征在于,器件结构为:在蓝宝石衬底上依次有聚酰亚胺,环氧胶,锰钴镍,金电极。其中所述的蓝宝石衬底为双面抛光的蓝宝石,所述的聚酰亚胺为亚胺化的聚酰亚胺,厚度为1...
赵水平
李向阳
贾嘉
朱龙源
刘福浩
刘诗嘉
汤亦聃
刘向阳
姜佩璐
周青
罗毅
文献传递
一种可控制时间常数的锰钴镍热敏器件
本专利公开了一种可控制时间常数的锰钴镍热敏器件,其特征在于,器件结构为:在蓝宝石衬底上依次有聚酰亚胺,环氧胶,锰钴镍,金电极。其中所述的蓝宝石衬底为双面抛光的蓝宝石,所述的聚酰亚胺为亚胺化的聚酰亚胺,厚度为1~40微米,...
赵水平
李向阳
贾嘉
朱龙源
刘福浩
刘诗嘉
汤亦聃
刘向阳
姜佩璐
周青
罗毅
文献传递
具有双面反射层的碲镉汞光电导探测器的参考元
本实用新型公开了一种具有双面反射层的碲镉汞光电导探测器的参考元,其结构为:在蓝宝石衬底上依次为下反射层,下绝缘层,碲镉汞光导器件层,上绝缘层A,上绝缘层B,铬层,上反射层。该参考元特征在于:蓝宝石衬底与碲镉汞光导器件层之...
赵水平
李向阳
朱龙源
刘诗嘉
王妮丽
罗毅
刘向阳
兰添翼
周青
文献传递
ICP刻蚀气压对碲镉汞电学性能的影响
2017年
研究了利用ICP(Inductively Coupled Plasma)干法刻蚀工艺制备长波碲镉汞光导器件过程中刻蚀气体压强对材料电学参数的影响。发现增大气体压强会导致材料的电学性能衰退,表现为材料的载流子浓度增加、迁移率降低以及电阻率增加。分析认为增大的压强使得材料内部产生了更多的填隙Hg离子,增强了载流子受到的电离杂质散射作用;同时材料内部也产生了更多的缺陷,极化声子散射作用也因此加强。由此解释了在流片过程中出现的某一批次碲镉汞光导器件性能的恶化是该批次器件ICP刻蚀工艺中的气压参数增加所致。
操神送
杜云辰
朱龙源
兰添翼
赵水平
罗毅
乔辉
关键词:
电学特性
支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件
本发明提供一种支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件,属于红外探测器技术领域,其可至少部分解决现有的红外探测器窗口片金属化工艺中手工粘贴掩膜块导致的精度不准和效率低下的问题。本发明的一种支撑板具有第一开孔、第二开孔、第三开孔...
杨晓阳
罗毅
陈心恬
蒋科
龚玮
刘福浩
李向阳
有弯曲支撑腿微桥结构的锰钴镍氧热敏电阻探测器及方法
本发明公开了一种有弯曲支撑腿微桥结构的锰钴镍氧热敏电阻探测器及方法,包括一双抛蓝宝石衬底;磁控溅射法生长的SiO<Sub>2</Sub>桥墩;一锰钴镍氧薄膜材料;制作成弯曲腿结构的欧姆接触电极。弯曲腿与锰钴镍材料下方的牺...
刘福浩
杨晓阳
贾嘉
蒋科
罗毅
龚玮
陈心恬
谢晶
李向阳
文献传递
一种具有双面反射层的碲镉汞红外光电导探测器的参考元
本发明公开了一种具有双面反射层的碲镉汞红外光电导探测器的参考元,其结构为:在蓝宝石衬底上依次为下反射层,下绝缘层,碲镉汞光导器件层,上绝缘层A,上绝缘层B,铬层,上反射层。该参考元特征在于:蓝宝石衬底与碲镉汞光导器件层之...
赵水平
李向阳
朱龙源
刘诗嘉
王妮丽
罗毅
刘向阳
兰添翼
周青
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