秦旭光
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 微压印光刻中的匀胶工艺与胶厚设计研究
- 常温压印光刻工艺是一种新型的集成电路和MEMS制造技术,成本低廉.匀胶工艺是压印的前道工序,是实现高质量压印复型的基础.该文针对匀胶工艺进行了实验研究,并针对压印光刻工艺的特殊性对胶厚设计进行了理论计算和初步的实验研究....
- 秦旭光
- 关键词：压印光刻
- 文献传递
- 微压印光刻的模具制作工艺研究被引量：2
- 2003年
- 从模具材料研究模具制作工艺问题,通过实验研究,对比分析了有机玻璃模具和硅橡胶模具制作工艺。实验表明,可以复制出特征尺寸为0.35μm和0.1μm的有机玻璃模具和硅橡胶模具,均具有很高的复型精度。由于硅橡胶模具制作工艺在复型精度、复型精度稳定性和制作速度上均优于有机玻璃模具,且缺陷密度低于有机玻璃模具。因此,选用基于高复型精度软硅橡胶模具的软压印光刻工艺。
- 秦旭光李涤尘李寒松丁玉成卢秉恒
- 关键词：压印光刻硅橡胶有机玻璃
- 高分辨率常温压印光刻工艺研究被引量：1
- 2003年
- 压印光刻技术将传统的模具复型原理应用到微观制造领域 ,是一种低成本高效率的集成电路制造技术。国外压印光刻工艺主要为热压印。针对热压印光刻工艺中因热变形而导致精度丧失的问题 ,提出了冷压印光刻。冷压印光刻的复型分辨率和复型质量高 ,解决了热压印光刻中的诸多难题 ,实现了 0 .
- 秦旭光李涤尘李寒松丁玉成卢秉恒
- 关键词：集成电路分辨率
