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林逸青
作品数:
4
被引量:14
H指数:2
供职机构:
哈尔滨工业大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
赵永春
哈尔滨工业大学
高元恺
哈尔滨工业大学
韩爱珍
哈尔滨工业大学
刘园丁
哈尔滨工业大学
张敬东
哈尔滨工业大学
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GaAs薄膜电沉积机理的初探
被引量:10
1997年
本文叙述了电沉积制备GaAs薄膜的原理.我们在不同的基片上均成功地得到了成分接近化学计量比的GaAs薄膜.初步探讨了GaAs薄膜的电沉积机理.
韩爱珍
林逸青
赵永春
高元恺
关键词:
砷化镓
功率晶体管芯片的电泳法玻璃钝化研究
被引量:1
1989年
本文介绍了电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化功率晶体管芯,并对电泳法原理、影响因素、玻璃粉烧结工艺进行了探讨;对钝化前后的器件做了测试;管芯反向漏电流得到改善,钝化后管芯分别在250℃和175℃温度下进行高温贮存试验取得满意结果.说明电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化工艺可提高半导体器件的稳定性和可靠性.
林逸青
刘园丁
黄拔波
关键词:
功率晶体管
电泳
纯化
GaAs 薄膜电沉积的机理与工艺研究
被引量:3
1997年
报道了电共沉积制备GaAs簿膜的原理与工艺。通过优化工艺参数,在不同的基片上成功地得到了成分接近化学计量比的GaAs薄膜。
韩爱珍
林逸青
赵永春
高元恺
关键词:
电沉积
砷化镓
电沉积砷化镓薄膜的研究
1993年
报道了电沉积法制备多晶砷化镓(GaAs)薄膜的工艺。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、分光光度计和C-V测试仪对薄膜进行了测试,其成分为Ga_(0.91)As_(1.09)。根据Mott-Schottky曲线,计算了薄膜的能带位置。最后测量了Ga_(0.81)As_(0.09)/ 电解液结的光电化学特性。
高元恺
韩爱珍
林逸青
赵永春
张敬东
关键词:
电沉积
砷化镓
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